+7 (495) 909-89-53

О компании

 Компания «МИНАТЕХ» (микро и нано технологии) основана как группа компаний, осуществляющих комплексное  оснащение предприятий технологическим и аналитическим оборудованием в области микроэлектроники,  полупроводникового производства и исследований, нанотехнологий, а также оборудованием для обеспечения  соответствующих производств, включая материалы.

За прошедшие годы компании и нашим сотрудникам удалось приобрести немалый опыт сотрудничества с предприятиями и производителями высококлассного оборудования для производства и исследования в микроэлектронике и нанотехнологиях, а также в специфических областях исследований.  Результатом работы стали многочисленные поставки новейшего технологического и аналитического оборудования для ведущих промышленных предприятий и институтов в России, а также подписание целого ряда дилерских соглашений с мировыми производителями полупроводникового оборудования.

Компания «МИНАТЕХ» (микро и нано технологии) сегодня - это слаженно работающий профессиональный коллектив, способный выполнить задачи различной степени сложности и предложить оптимальное решение как для производственных задач, так и для сложных задач разработки и исследования.

Всегда рады направить наш профессионализм и опыт для решения Ваших задач.

Направление деятельности

ТЕХНОЛОГИИ

  • Кристальное производство и исследования
  • Полупроводники
  • Оптика
  • Нанотехнологии
  • Модификация поверхности материалов
  • Метрология тонких пленок и морфология поверхности
  • Микроскопия, элементный анализ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

  • Плазменное травление (RIE, ICP-RIE) 
  • Плазменное осаждение диэлектриков (PECVD, ICPECVD)
  • Атомно-слоевое осаждение (ALD, PEALD, Thermal ALD, ICPECVD-ALD)
  • Осаждение (SprayCVD, MOCVD, LPCVD)
  • Плазменная очистка
  • Контактная оптическая литография
  • Безсмасковая (лазерная) литография
  • Безсмасковое совмещение и экспонирование
  • Электронно-лучевая литография
  • Вакуумное напыление
  • Быстрые термическое процессы (RTP)
  • Диффузионные печи
  • Очистка пластин и фотошаблонов
  • Декапсуляция и обратный процессинг
  • Шлифовка и полировка пластин
  • Дисковая резка пластин

АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

  • Лазерные и спектроскопические эллипсометры
  • Определение удельного поверхностного сопротивления слоев
  • Оптические профилометры
  • Оптические микроскопы
  • Зондовые станции
  • Метрология пластин и анализ пленок
  • Электронная микроскопия (сканирующая и просвечивающая)
  • Анализаторы поверхности
  • Дифрактометрия 

ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА

НАШИ ЗАКАЗЧИКИ:


   


    

    

        

       

     

      

      

    

     

                    

       



Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее