Лазерные эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) - приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей на одной длине волны - 632,8 нм с точностью менее ангстрема.
Лазерные эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) - приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей на одной длине волны - 632,8 нм с точностью менее ангстрема.
EMPro - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Длина волны - 632,8 нм
Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.
EMPro - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Длина волны - 632,8 нм
Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.
Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR-IR (190-25000 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей.
Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR-IR (190-25000 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей.
Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR (193-2500 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей.
Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR (193-2500 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей.
Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света.
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п)
Спектральный диапазон:
RM 1000: 410-1000 нм.
RM 2000: 200 - 1000 нм.
Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света.
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п)
Спектральный диапазон:
RM 1000: 410-1000 нм.
RM 2000: 200 - 1000 нм.
Спектроскопический (спетральный) рефлектометр RM 1000 QC производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света на пластина с топологией.
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п) на пластине с топологией.
- Pattern recognition программное обеспечение (на базе HALCON)
- Картирование по XY в диапазоне 200х200 мм.
- Измерение на пластинах до 8" (200мм)
- Размер пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
- Мощное ПО для спектроскопических измерений SpectraRay/4
- Опционально SECS/GEM интерфейс
- Камера для автоматического выравнивания столика
Спектральный диапазон:
RM 1000 QC: 400-1000 нм. (VIS) или 400-1650 нм (VIS/NIR)
Спектроскопический (спетральный) рефлектометр RM 1000 QC производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света на пластина с топологией.
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п) на пластине с топологией.
- Pattern recognition программное обеспечение (на базе HALCON)
- Картирование по XY в диапазоне 200х200 мм.
- Измерение на пластинах до 8" (200мм)
- Размер пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
- Мощное ПО для спектроскопических измерений SpectraRay/4
- Опционально SECS/GEM интерфейс
- Камера для автоматического выравнивания столика
Спектральный диапазон:
RM 1000 QC: 400-1000 нм. (VIS) или 400-1650 нм (VIS/NIR)
Лазерные и спекроскопические эллипсометры серии PV производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для измерения в фотовольтаике. Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик просветляющих покрытий (коэффициент преломления, показатель поглащения) на поли- и монокристаллическом кремнии (on solar cell). Особенно SiNx на текстурированном кремнии, а также пассивирующие слои SiO2 и Al2O3.
Лазерные и спекроскопические эллипсометры серии PV производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для измерения в фотовольтаике. Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик просветляющих покрытий (коэффициент преломления, показатель поглащения) на поли- и монокристаллическом кремнии (on solar cell). Особенно SiNx на текстурированном кремнии, а также пассивирующие слои SiO2 и Al2O3.
Измерение толщины и оптических характеристик тонких пленок можно проводить различными методами, с использованием различных приборов. Среди основных приборов, которые используются чаще всего, можно выделить лазерные и спектроскопические (спектральные) эллипсометры, а так же рефлектометры.
Принцип действия эллипсометров и рефлектометров немного различается. Эллипсометр измеряет изменение углов поляризации света, после взаимодействия света с поверхностью изучаемого (пленкой) объекта (границей раздела сред) и после софт с мощным мат. пакетом пересчитывает толщину и показатель преломления пленки. Рефлектометр, в свою очередь, измеряет коэффициент отражения изучаемого объекта.
На нашем сайте представлены эллипсометры и рефлектометры немецкой фирмы SENTECH Instruments GmbH. Данные приборы отлично подходят как для измерений на производстве, так и для исследовательских лабораторий. При этом, можно проводить измерения как одного, так и нескольких слоев пленок.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
