Комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны эллипсометра - 632,8 нм
Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или двухслойных пленок (с известными параметрами подслоя) в производстве или лаборатории и многослойных пленок с рефлектметом.

Особенности

• Комбинированная система включающая лазерный эллипсометр и рефлектометр FTPadv с одном инструменте.
• Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 1 до 25000 нм.

• Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированный компенсатор, управление поляризатором, детектор сверх низких шумов. 

• Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

• Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SENTECH. 

• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс и легкость работы.
• Высокая скоростьизмерений

• Программное обеспечение SENTECH для проведения эллипсометрических измерений, включающее в себя библиотеку приложений

  n, k массивного материала

  толщина монослоев

  толщина и индекс преломления монослоев

  толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя двойного слоя

  заданные эллипсометрические приложения

• Опции:

  - 30 мкм микроспот (фокусировка пятна)

  - Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)

  - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

  - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

  - Жидкостная ячейка

  - Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для выравнивания образцов

  - Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.

  - ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)

  - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном) 

Описание SE500adv в PDF