+7 (495) 909-89-53

Лазерный эллипсометр SE 400adv

лазерный эллипсометр, измерение пленки Ellipsometer with reflectometer optionxy mapping stagemicrospotEllipsometer with standard heating stageSpectroscopic ellipsometer with camera optionmanual goniometerliquid cellMotorized goniometer option

SE 400adv - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны - 632,8 нм
Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или двухслойных пленок (с известными параметрами подслоя) в производстве или лаборатории.

Особенности

  • Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированный компенсатор, управление поляризатором, детектор сверх низких шумов. 

  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

  • Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SENTECH. 

  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс и легкость работы.
  • Высокая скоростьизмерений
  • Программное обеспечение SENTECH для проведения эллипсометрических измерений, включающее в себя библиотеку приложений

    n, k массивного материала

    толщина монослоев

    толщина и индекс преломления монослоев

    толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя двойного слоя

    заданные эллипсометрические приложения

  • Опции:

    - 30 мкм микроспот (фокусировка пятна)

    - Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)

    - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

    - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

    - Жидкостная ячейка

    - Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для выравнивания образцов

    - Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.

    - ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)

    - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном) 

Описание SE400adv в PDF

Характеристики

Источник и длина волны  632,8 нм
HeNe лазер (< 1 мВт)
Точность измерения ψ и ∆:    0,002о , 0,002о
Точность измерения толщины пленки:  

 0,01 нм на 100 нм SiO2на Si

Точность измерения индекса преломления:  5х10-4 на 100 нм SiO2 наSi
Диапазон измерений для прозрачных пленок:  до 6000 нм
Диапазон измерений для слабоабсорбирующих слоев(полисиликон): до 2000 нм.
Время измерения 10 мс –  1с (зависит от режима измерений)
Диаметр светового пятна около 1 мм
Угол падения луча света Ручной гониометр 40 – 90о, шаг установки 5о 
Выравнивание образца, фокусировка Автоколлиматический телескоп (АСТ)

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Лазерный эллипсометр SE 400adv

Также Вас может заинтересовать
Комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Длина волны эллипсометра - 632,8 нм
Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Длина волны эллипсометра - 632,8 нм
Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.

Уже установлено в России и СНГ: 5 шт