+7 (495) 909-89-53

Рефлектометры серии RM 1000/RM 2000 от SENTECH Instruments GmbH

RM1000 with PVRM 2000RM mappingRM1000-2000FTPexpert

Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света.
Измерене показателя преломления и толщины пленок и абсорбци на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.д.) 

Спектральный диапазон:
RM 1000:  430-930 нм. 
RM 2000:  200 - 1000 нм.

В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории.

Особенности

  • Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях.
  • Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 2 до 50000 нм (в зависимости от модели).
  • Размер пятна измерения 80 и 100 мкм, что позволяет проводить измерения напластине с топологией
  • Высокая стабильность и точность при измерении. 

  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

  • Дружественный интерфейс и легкость работы.
  • Высокая скорость измерений
  • Программное обеспечение FTPadv EXPERT SENTECH для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений

    n, k массивного материала

    толщина монослоев

    толщина и индекс преломления монослоев

    толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя и многослойной структуры

  • Большая база данных материалов для измерений
  • Опции:

    - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

    - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

    - ПО для иммитационного моделирования (SpectraRay/3)

    - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)Брошюра RM 1000 в PDF
    Брошюра RM 2000 в PDF

Характеристики

Модель RM 1000 RM 2000
Измеряемые величины Толщина пленки, индекс преломления, абсорбция и др.
Принцып действия Интерферренция белого света при нормальном угле падения Интерферренция белого света при нормальном угле падения
Спектральный диапазон                 430 - 930 нм. 200 - 1000 нм.
Время измерения около 300 мс. около 300 мс.
Диапазон измеряемых толщин 20 - 25000 нм. (в зависимости от пленки) 2 - 50000 нм. (в зависимости от пленки)
Диамерт светового пятна 80 мкм 100 мкм.
Точность измерения тощины 1 нм (изм. 400 нм SiO2/Si)
Воспроизводимость (1σ) 0,3 нм.  (изм. 400 нм SiO2/Si)
Источник света Стаблизированная галогеновая лампа Стабилизированные дейтериумная и галогеновая лампы
Программное обеспечение FTPadv Expert

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее