+7 (495) 909-89-53

Рефлектометры серии RM 1000/RM 2000 от SENTECH Instruments GmbH

рефлектометр, эллипсометр смотреть фото RM1000 with PVRM 2000RM mappingRM1000-2000FTPexpert

Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света.
Измерене показателя преломления и толщины пленок и абсорбци на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.д.) 

Спектральный диапазон:
RM 1000:  410-1000 нм. 
RM 2000:  200 - 1000 нм.

В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории.

Особенности

  • Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях.
  • Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 5 до 50000 нм (в зависимости от модели).
  • Размер пятна измерения 80 и 100 мкм, что позволяет проводить измерения напластине с топологией
  • Высокая стабильность и точность при измерении. 

  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

  • Дружественный интерфейс и легкость работы.
  • Высокая скорость измерений
  • Программное обеспечение FTPadv EXPERT SENTECH для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений

    n, k массивного материала

    толщина монослоев

    толщина и индекс преломления монослоев

    толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя и многослойной структуры

  • Большая база данных материалов для измерений
  • Опции:

    - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

    - Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

    - ПО для иммитационного моделирования (SpectraRay/3)

    - Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)Брошюра RM 1000 в PDF
    Брошюра RM 2000 в PDF

Характеристики

Модель RM 1000 RM 2000
Измеряемые величины Толщина пленки, индекс преломления, абсорбция и др.
Принцып действия Интерферренция белого света при нормальном угле падения Интерферренция белого света при нормальном угле падения
Спектральный диапазон                 410 - 1000 нм. 200 - 1000 нм.
Время измерения около 300 мс. около 300 мс.
Диапазон измеряемых толщин 20 - 25000 нм. (в зависимости от пленки) 5 - 50000 нм. (в зависимости от пленки)
Диамерт светового пятна 80 мкм 100 мкм.
Точность измерения тощины 1 нм (изм. 400 нм SiO2/Si)
Воспроизводимость (1σ) 0,5 нм.  (изм. 400 нм SiO2/Si)
Источник света Стаблизированная галогеновая лампа Стабилизированные дейтериумная и галогеновая лампы
Программное обеспечение FTPadv Expert

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Рефлектометры серии RM 1000/RM 2000 от SENTECH Instruments GmbH

Также Вас может заинтересовать
Спектроскопические эллипсометры Ellitop Scientific (Китай)

Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR (193-2500 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей. 

Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR (193-2500 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей. 

Рефлектометр RM 1000 QC (Quaity Control) от SENTECH Instruments GmbH

Спектроскопический (спетральный) рефлектометр RM 1000 QC производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света на пластина с топологией.
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п) на пластине с топологией.

Pattern recognition программное обеспечение (на базе HALCON)
- Картирование по XY в диапазоне 200х200 мм. 
- Измерение на пластинах до 8" (200мм)
- Размер пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
- Мощное ПО для спектроскопических измерений SpectraRay/4
- Опционально SECS/GEM интерфейс
- Камера для автоматического выравнивания столика

Спектральный диапазон:
RM 1000 QC:  400-1000 нм. (VIS) или 400-1650 нм (VIS/NIR) 

Спектроскопический (спетральный) рефлектометр RM 1000 QC производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света на пластина с топологией.
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п) на пластине с топологией.

Pattern recognition программное обеспечение (на базе HALCON)
- Картирование по XY в диапазоне 200х200 мм. 
- Измерение на пластинах до 8" (200мм)
- Размер пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
- Мощное ПО для спектроскопических измерений SpectraRay/4
- Опционально SECS/GEM интерфейс
- Камера для автоматического выравнивания столика

Спектральный диапазон:
RM 1000 QC:  400-1000 нм. (VIS) или 400-1650 нм (VIS/NIR) 

Лазерные и спектроскопические эллипсометры для фотовольтаики от SENTECH Instruments GmbH

Лазерные и спекроскопические эллипсометры серии PV производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для измерения в фотовольтаике. Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик просветляющих покрытий (коэффициент преломления, показатель поглащения) на поли- и монокристаллическом кремнии (on solar cell). Особенно SiNx на текстурированном кремнии, а также пассивирующие слои SiO2 и Al2O3.

Лазерные и спекроскопические эллипсометры серии PV производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для измерения в фотовольтаике. Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик просветляющих покрытий (коэффициент преломления, показатель поглащения) на поли- и монокристаллическом кремнии (on solar cell). Особенно SiNx на текстурированном кремнии, а также пассивирующие слои SiO2 и Al2O3.