+7 (495) 909-89-53

Автоматический спектроскопический эллипсометр SENDURO®

эллипсометр, спектральный эллипсометр фото senduro_glasssenduro_big wafersenduro_small wafersenduro_300SENDURO300_CassetteLoading_senduro_al2o3senduro_PRsenduro_multylayer

Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптичеcких показателей тонких пленок в производстве.

Спектральный диапазон: от 290 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве.

SENDURO® может применяться как в исследовательских целях так и в массовом производстве для измерения на подложках до 200 мм.

Особенности

  • Высокая стабильность и точность при измерения

  • Высокая скорость измерения образцов

  • Измерение толщин пленок от 1 нм. до 10 000 нм. (ультра-тонкие пленки)

  • Измерение оптических характеристик пленок

  • Полностью автоматическое выравнивание образца при измерении

  • Измерения на прозрачных и поглощающих подложках

  • Управление нажатием кнопки

  • Удобное программное обеспечение SpectraRay/4 

  • Минимальная подготовка для инсталляции прибора

  • Не требует высокой квалификации оператора

  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

  • Дружественный интерфейс.
  • Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
  • Мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

    Описание SpectraRay/4 от производителя - SpectraRay/3.pdf

  • Опции:

    - ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца

    - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

    - Рефлектометр FTPadv

    Описание SENDURO в PDFОписание SENDURO 300 в PDF

Характеристики

Модель SENDURO®
Длина волны  290-1000 нм
Толщины измеряемых пленок от 1 нм до 50 мкм
Гониометр стационарный, 70º
Выравнивание образца на столике Полностью автоматическая ситема выравнивания столика по углу наклона и высоте.
Размер пятна  1 х 1 мм2 (при угле падения 700)
Тольщина измеряемых образцов до 10 мм (или другое по запросу)
Время измерения типичное 100 мс, при высокоточном измерении 5-10 с.
Столик (ход по XY) 50x50 мм, 150х150 мм или 200x200 мм (по запросу). Стационарый или моторизованный

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Автоматический спектроскопический эллипсометр SENDURO®

Также Вас может заинтересовать
Полностью автоматическая измерительная система SENDURO® MEMS для производства

SENDURO ® MEMS - новая полностью автоматизированная (с кассетной станцией) измерительная система для измерения толщин и оптических констант большого разнообразия тонких пленок и стеков, таких как оксиды, нитриды, a-Si, Si-мембраны, резисты, типичные в MEMS и производстве датчиков производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

Спектральный диапазон: от 300 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
Загрузка из кассеты в кассету (С to C station)
Pattern recognition (опция)
Рефлектометр с пятном 100 мкм (опция) 
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.

SENDURO ® MEMS - новая полностью автоматизированная (с кассетной станцией) измерительная система для измерения толщин и оптических констант большого разнообразия тонких пленок и стеков, таких как оксиды, нитриды, a-Si, Si-мембраны, резисты, типичные в MEMS и производстве датчиков производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

Спектральный диапазон: от 300 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
Загрузка из кассеты в кассету (С to C station)
Pattern recognition (опция)
Рефлектометр с пятном 100 мкм (опция) 
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.

Спектроскопические эллипсометры SENresearch 4.0 для исследований и производства

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

Уже установлено в России и СНГ: 21 шт
ИК-Фурье спектроскопический эллипсометр SENDIRA для измерения в ИК спектре

SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света. 
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций

SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света. 
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций

Уже установлено в России и СНГ: 2 шт