+7 (495) 909-89-53

Спектроскопические эллипсометры SENresearch 4.0 для исследований и производства

spectral rangemotorized goniometrmicrospotACT with cameraXY stageNIR with SENTECH FT-IRAuto tilt and height alignmentheating stageHeated liquid celltransmissionScatterometry measurement Microspot measurement on Si-sphereSpectroscopic ellipsometer with cryostatprocess monitoringGonoiment with 20 angle

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

Линейка моделей серии SENresearch 4.0:
SER 800:
 спектральный диапазон 240-1000 нм
SER 800 DUV: спектральный диапазон 190-1000 нм
SER 850: спектральный диапазон 240-2500 нм (3500 нм - опция)
SER 850 Z: спектральный диапазон 240-1700 нм (3500 нм - опция)
SER 850 DUV: спектральный диапазон 190-2500 нм (3500 нм - опция)
SER 850 DUV Z: спектральный диапазон 190-1700 нм (3500 нм - опция)

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.
- Исследования
- Нанатехнологии
- Фотовольтаика
- Микроэлекроника
- Органическая электроника
- Покрытия на стекле
- Дисплеи
- Биотехнологии
- Естественные науки

Особенности

  • Широкий спектральный диапазон в зависимости от модели (190-3500 нм.)
  • Высокая стабильность и точность при измерения
  • Отсутствие подвижных оптических деталей (SSA - Step Scan Analyzer - пошаговое сканирование)
  • Высокая скорость измерения образцов
  • Измерение толщин пленок от 1 Å до 200 мкм. (ультра-тонкие пленки)
  • Измерение оптических характеристик пленок
  • Высокоточное выравнивание образца по углу наклона и высоте с помощью ACT (автокалиматческий телескоп)
  • Измерения на прозрачных и поглощающих подложках
  • Измерение при разных углах плечей эллипсометра (скатерометрия)
  • Удобное программное обеспечение SpectraRay/4 
  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс.
  • Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
  • Мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay/4 от производителя - SpectraRay/4.pdf

Опции:

  • ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца
  • Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.
  • Рефлектометр FTPadv (диамерт пятна 80 мкм)
  • Микроспот (фокусировка пятна: 200 или 100 мкм)
  • Автоматический моризованный гониометр (пирамидаидальный)
  • Столик с автматическим выравниваниванием образца и автофокус (AFT)
  • Столики с нагревом
  • Жидкостные ячейки
  • Анизотропия
  • Измерени на просвет
  • Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера
  • Криостат 4 - 700 ºК
Запросить писание SENresearch 4.0 в PDF

Характеристики

Длина волны  190-3500 нм. (в зависимости от модели)
Принцип измерения SSA (Step Scan Analyzer) - пошаговое сканирование. Отсутсвие движущихся оптических деталей
Точность измерения ψ и ∆:    0,002о , 0,002о
Точность измерения толщины пленки:  

 0,01 нм на 100 нм SiO2на Si

Точность измерения индекса преломления:  5х10-4 на 100 нм SiO2 наSi
Диапазон измерений пленок:  от 1 Å до 200 мкм
Время измерения зависит от режима измерений
Диаметр светового пятна около 1 мм
Опционально с микроспотом: 200 мкм или 100 мкм 
Угол падения луча света Ручной гониометр 20 – 90о, шаг установки 5о 
Моторизованный пирамидаидальный гониометр: 20 – 100о, шаг установки 0,01о 
Точность: 0,005о 
Выравнивание образца, фокусировка Автоколлиматический телескоп (АСТ)
Опции - ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца
- Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.
- Рефлектометр FTPadv
- Микроспот (фокусировка пятна: 200 или 100 мкм)
- Автоматический моризованный гониометр
- Столик с автматическим выравниваниванием образца и автофокус (AFT)
- Столики с нагревом
- Жидкостные ячейки
- Анизотропия
- Измерени на просвет
Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера
- Криостат 4 - 700 ºК

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее