SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.
SpectraRay/4 программный пакет
Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.
Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (Волфрамовая-Галогеновая лампа, 370-1050 нм.).
Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона).
Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SpectraRay/4 от SENTECH.
Мощный пакет программного обеспечения SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi), Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения. SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.
Описание SpectraRay/4 от производителя - SpectraRay/3.pdf
- ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
- Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)
- Жидкостная ячейка
| Длина волны | 370-1050 нм |
| Спектральное разрешение | 2,4 нм |
| Принцип измерения |
Step Scan Analyzer (SSA) |
| Столик | Фиксированный столик для образцов диаметром до 150 мм (другие столики по запросу) |
| Диапазон измерений для прозрачных пленок: | Зависит от количества слоев и материала пленок |
| Количество измеряемых слоев |
Программное обеспечение не ограничивает количество измеряемых слоев. На практике количество измеряемых слоев определяется свойствами образца |
| Время измерения | 10 с для всего спектра |
| Диаметр светового пятна | около 2 мм |
| Масимальная высота образца | 8 мм (более толстые по запросу) |
| Угол падения луча света | Ручной гониометр 40 – 90о, шаг установки 5о |
Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптических показателей тонких пленок в производстве.
Спектральный диапазон: от 290 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.
Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптических показателей тонких пленок в производстве.
Спектральный диапазон: от 290 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.
SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно- и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.
Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций
SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно- и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.
Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций
SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.
Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света.
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций
SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.
Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света.
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
