Термоэмиссионные растровые электронные микроскопы (РЭМ с термоэмиссией) - самый распространённый тип приборов в электронной микроскопии. В них применяются вольфрамовые или гексабо-рид-лантановые термокатоды. Разрешающая способность микроскопа зависит от электронной яркости пушки и в приборах рассматриваемого класса составляет от 3 нм. Ускоряющее напряжение регулируется обычно в пределах от 1 до 30 кВ.
Термоэмиссионные растровые электронные микроскопы (РЭМ с термоэмиссией) - самый распространённый тип приборов в электронной микроскопии. В них применяются вольфрамовые или гексабо-рид-лантановые термокатоды. Разрешающая способность микроскопа зависит от электронной яркости пушки и в приборах рассматриваемого класса составляет от 3 нм. Ускоряющее напряжение регулируется обычно в пределах от 1 до 30 кВ.
Растровые электронные микроскопы с автоэмиссионной пушкой (полевая эмиссия) обладают высокой разрешающей способностью (до 0,7 нм). В автоэмиссионной пушке используется катод в форме острия, у вершины к-рого возникает сильное элекгрич. поле, вырывающее электроны из катода (автоэлектронная эмиссия). Электронная яркость пушки с автоэмиссионным катодом в 103-104 раз выше яркости пушки с термокатодом. Соответственно увеличивается ток электронного зонда.
Растровые электронные микроскопы с автоэмиссионной пушкой (полевая эмиссия) обладают высокой разрешающей способностью (до 0,7 нм). В автоэмиссионной пушке используется катод в форме острия, у вершины к-рого возникает сильное элекгрич. поле, вырывающее электроны из катода (автоэлектронная эмиссия). Электронная яркость пушки с автоэмиссионным катодом в 103-104 раз выше яркости пушки с термокатодом. Соответственно увеличивается ток электронного зонда.
Сканирующий, или растровый электронный микроскоп – СЭМ, РЭМ (Scanning electron microscope - SEM) представляет собой тип электронного микроскопа, принцип работы которого заключается в создании изображений, путем сканирования исследуемой поверхности направленным пучком электронов. Электроны взаимодействуют с атомами в образце, создавая различные сигналы, которые содержат информацию о рельефе и составе поверхности образца. Электронный луч сканируется в шаблоне растрового сканирования, а положение луча объединяется с обнаруженным сигналом для создания изображения. Сканирующий (растровый) электронный микроскоп может получать изображения с разрешением выше 1 нм. Наиболее распространенным СЭМ-режимом является обнаружение вторичных электронов, испускаемых атомами, возбуждаемыми электронным пучком. Количество вторичных электронов, которое может быть обнаружено, зависит, помимо прочего, от топографии образца. Сканируя образец и собирая вторичные электроны, которые испускаются с помощью специального детектора, создается изображение, отображающее топографию поверхности.
На нашем сайте вы можете купить сканирующие электронные микроскопы японской фирмы JEOL двух типов – термоэмиссионные, и растровые с полевой эмиссией. Для того что бы узнать про каждый тип подробнее, нажмите кнопку «подробнее» на интересующем вас товаре.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
