Растровые электронные микроскопы JEOL с полевой эмиссией (автоэмиссионные РЭМ)

JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА).

• Увеличение от 10 до 1 000 000 крат
• Разрешение до 1,2 нм (30 кВ)
• Ускоряющее напряжение до 30 кВ
• Ток пучка от 1 пА до 200 нА
• Режимы высокого и низкого вакуума (в зависимости от конфигурации)
• Диаметр образца до 70 мм, высота до 50 мм
• Опция - интегрированный ЭДС и др.

JSM-7800F растровый электронный микроскоп высокого разрешения с катодом Шоттки и супергибридной объективной линзой. В этом микроскопе реализованы последние достижения в технологии электронной оптики, что позволяет получать на данном микроскопе изображения с очень высоким разрешением. Микроскоп JSM 7800F является уникальным исследовательским инструментом для исследования в различных областях науки.

• Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
• Разрешение до 0,8 нм (15 кВ)
• Ускоряющее напряжение от 10 В до 30 кВ
• Ток пучка от 1 пА до 200 нА
• Опция - интегрированный ЭДС и др.

Новейший РЭМ с термополевым катодом JSM-7800F Prime позволяет получать изображение с самым высоким разрешением в мире для данного класса РЭМ, благодаря обновленному, по сравнению с предыдущей моделью JSM-7800F, режиму Gentle Beam (GBSH). Кроме того, максимальный ток пучка в пушке с катодом Шоттки конструкции «In-lens» увеличен с 200 нА до 500 нА.

Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Разрешение до 0,7 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 10 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 500 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.

JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т.п.

Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 2 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.

JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)

Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.

JIB-4601F – двулучевая система, представляющая собой растровый электронный микроскоп высокого разрешения с термополевым катодом, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.

Ионная пушка + расторовый электронный микроскоп с полевой эмиссией 
Ионная пушка с ускоряющими напряжением от 1 до 30 кВ
Электронно-оптическая колонна ускоряющим напряженм от 0,2 до 30 кВ 
Увеличение на РЭМ от 20 до 1 000 000 крат
Ускоряющее напряжение до 30 кВ
Разрешение до 1,2 нм в режиме высокого вакуума
Диаметр образца до 50 мм, высота до 20 мм