Новейший сканирующий (растровый) электронный микроскоп с полевой эмиссией производства JEOL (Япония) серии JSM-7800F PRIME
Новейший РЭМ с термополевым катодом JSM-7800F Prime позволяет получать изображение с самым высоким разрешением в мире для данного класса РЭМ, благодаря обновленному, по сравнению с предыдущей моделью JSM-7800F, режиму Gentle Beam (GBSH). Кроме того, максимальный ток пучка в пушке с катодом Шоттки конструкции «In-lens» увеличен с 200 нА до 500 нА.
Более высокая яркость достигается за счет оптимального сочетания электронной пушки конструкции “in-lens” и линз конденсора с низкой аберрацией. Ток зонда от нескольких пикоампер до нескольких десятков нА достижим даже при низком ускоряющем напряжении, за счет эффективного сбора электронов, генерируемых пушкой, что позволяет получать как высокое разрешение, так и картины дифракции отраженных электронов на наноуровне, выполнять высокоскоростное картирование, не переключаясь при этом с минимальной апертуры объективной линзы.
В JSM-7800F PRIME модернизирован также режим подачи напряжения смещения на образец - Gentle Beam (GB). Модернизированный режим (GBSH) позволяет работать с более высокими напряжениями смещения на образце, обеспечивая получение изображения со сверхвысоким разрешением и прекрасным соотношением сигнал-шум даже при низких ускоряющих напряжениях. Также он дает возможность выбрать оптимальное ускоряющее напряжение для работы с различными типами образцов для изучения их морфологии и проведения элементного анализа на наноуровне.
Конструкция JSM-7800F Prime предусматривает 4 вида детекторов, в том числе верхнего детектора электронов (UED), верхнего детектора вторичных электронов (USD), детектора обратно-рассеянных электронов (BED), и нижнего детектора электронов (LED).
Для UED, детектора вторичных и обратно-рассеянных электронов, режим работы может быть изменен, в зависимости от напряжения на энергетическом фильтре, что позволяет выбрать ту или иную энергию электронов для получения изображений с определенным контрастом. USD фиксирует низкоэнергетические электроны, которые были отклонены сеткой фильтра. С помощью детектора BED можно наблюдать эффект каналирования, фиксируя отраженные электроны, вылетающие из образца под высокими или низкими углами. Детектор LED позволяет получать 3D-изображения, в том числе - информацию о шероховатости поверхности.
| Разрешение | 0,7 нм(15 кВ) 0,7 нм(1 кВ) 3,0 нм (5 кВ, WD10мм, 5 нА) |
||
| Ускоряющее напряжение | 10 В - 30 кВ | ||
| Диапазон увеличений | от х25 до x1 000 000 | ||
| Ток пучка | 1 пА - 500 нА |
||
| Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму | Встроена по умолчанию | ||
| Энергетический фильтр | Встроен. Управляется напряжением |
||
| Катод | Термополевой (Шоттки) | ||
| Детекторы | Верхний детектор электронов (UED) Нижний детектор вторичных электронов (LED) Верхний детектор вторичных электронов (USD) Детектор отраженных электронов для малых рабочих отрезков (BED) |
||
| Режим торможения пучка «Gentle Beam» | Доступен в базовой комплектации | ||
| Вакуум | 10-300 Па | ||
| Предметный столик |
Полностью эвцентрический гониометрический столик |
||
| Диапазон рабочих отрезков |
от 2 до 41 мм |
||
| Вакуумный шлюз |
Входит в базовую комплектацию |
||
| Вакуумная система |
Полностью автоматизирована |
||
| Операционная система | для MS Windows | ||
| Опции | Энергодисперсионный спектрометр Спектрометр с дисперсией по длинам волн Система дифракции отраженных электронов Система катодолюминесценции Наноманипуляторы Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC) |
||
JSM-7800F растровый электронный микроскоп высокого разрешения с катодом Шоттки и супергибридной объективной линзой. В этом микроскопе реализованы последние достижения в технологии электронной оптики, что позволяет получать на данном микроскопе изображения с очень высоким разрешением. Микроскоп JSM 7800F является уникальным исследовательским инструментом для исследования в различных областях науки.
JSM-7800F растровый электронный микроскоп высокого разрешения с катодом Шоттки и супергибридной объективной линзой. В этом микроскопе реализованы последние достижения в технологии электронной оптики, что позволяет получать на данном микроскопе изображения с очень высоким разрешением. Микроскоп JSM 7800F является уникальным исследовательским инструментом для исследования в различных областях науки.
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА).
JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА).
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
