Сканирующий (растровый) электронный микроскоп с полевой эмиссией с холодным катодом производства JEOL (Япония) серии JSM-7500F
JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т.п. Также JSM-7500F по умолчанию комплектуется автоматической шлюзовой камерой, что существенно снижает время замены образца, уменьшает скорость загрязнения камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления и продлевает срок службы катода и диафрагм в несколько раз. Однако даже использование шлюза не мешает работать с большими образцами: до 200 мм в диаметре и до 40 мм высотой.
Кроме того, JSM-7500F, благодаря встроенной активной антивибрационной системе, очень устойчив к дрожанию пола и акустическим шумам. Простой и интуитивно понятный пользовательский интерфейс делает легким управление этим прибором даже для новичка. Экорежим, позволяющий включать РЭМ в определенное время (например, за полчаса до начала рабочего дня), выключать или вводить в его «спящий» режим по завершении запланированного цикла исследований, позволяет экономить от 25 до 55% электроэнергии и рабочее время обслуживающего персонала.
JSM-7500F является прекрасным инструментом для решения задач в области нанотехнологий, материаловедения и биологии.
Основные преимущества:
• Автоэмиссионный («холодный») катод обладает большим сроком службы (более 5 лет) и обеспечивает очень яркий пучок электронов с малым разбросом по энергии;
• Стабильная, высоконадежная электронно-оптическая колонна JSM-7500F позволяет добиваться высоких разрешений (0,6 нм при 30 кВ в ПРЭМ-режиме и 1,0 нм при 15 кВ в режиме регистрации вторичных электронов);
• Встроенная активная антивибрационная система позволяет получать прекрасные изображения в условиях, далеких от идеальных;
• Доступность большого количества детекторов различных типов, в том числе LABE, RBEI, SEI, LEI. Низкоугловой детектор отраженных электронов (LABE) прекрасно работает при малых энергиях электронного пучка (вплоть до 100 эВ), позволяя получать информацию и об однородности состава, и о топологии поверхности образца, а также решает проблему с накоплением заряда на поверхности диэлектрических образцов;
• Интерфейс пользователя делает возможным одновременное наблюдение на экране монитора сигналов с 4 различных детекторов в режиме реального времени;
• Встроенный в электронно-оптическую колонну r-фильтр позволяет четко разделять сигналы от вторичных и обратнорассеянных (отраженных) электронов, а также смешивать их между собой в заданных пропорциях;
• Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму, существенно увеличивает долю электронов, достигающих поверхности образца, позволяя тем самым экономнее расходовать ресурс эмиттера;
• Режим торможения пучка (Gentle Beam), который замедляет электроны перед падением на поверхность образца, сильно снижает повреждения, наносимые пучком, а также позволяет избежать зарядки образцов с плохой электропроводностью;
• Доступность различных типов шлюзов позволяют выбрать оптимальный, включая шлюз с автосменщиком образцов;
• Устанавливаемая в камере образцов криогенная ловушка уменьшает загрязнение колонны при работе с испаряющимися под электронным пучком образцами и, тем самым, продлевает ресурс электронно-оптической колонны;
• Большая камера образцов позволяет работать с объектами диаметром до 200 мм и высотой до 40 мм, а также одновременно устанавливать множество разнообразных аналитических приставок (энергодисперсионный спектрометр, детектор дифракции отраженных электронов, детектор катодолюминесценции, рамановский спектрометр и т.п.).
Разрешение | 1,0 нм (15 кВ), 1,4 нм (1 кВ), 0,6 нм (30 кВ, ПРЭМ-режим |
||
Ускоряющее напряжение | 100 В - 30 кВ | ||
Шаг измерения ускоряющего напряжения | от 0,1 кВ до 2,9 кВ - шаг 10 В от 3,0 кВ до 30,0 кВ - шаг 100 В |
||
Диапазон увеличений | от х25 до x1 000 000 (в пересчете на площадь фотопластины 120 мм х 90 мм) | ||
Ток пучка | 1 пА - 2 нА |
||
Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму | Встроена по умолчанию | ||
Энергетический фильтр | Встроен. Управляется напряжением |
||
Катод | Автоэмиссионный («холодный») катод | ||
Режим торможения пучка «Gentle Beam» | Доступен в базовой комплектации | ||
Вакуум | 10-300 Па | ||
Предметный столик |
Полностью эвцентрический гониометрический столик |
||
Максимальный диаметр образца |
Диаметр: 200 мм |
||
Диапазон рабочих отрезков |
от 1,5 до 25 мм |
||
Вакуумный шлюз |
Входит в базовую комплектацию |
||
Вакуумная система |
Полностью автоматизирована |
||
Операционная система | для MS Windows |
Новейший РЭМ с термополевым катодом JSM-7800F Prime позволяет получать изображение с самым высоким разрешением в мире для данного класса РЭМ, благодаря обновленному, по сравнению с предыдущей моделью JSM-7800F, режиму Gentle Beam (GBSH). Кроме того, максимальный ток пучка в пушке с катодом Шоттки конструкции «In-lens» увеличен с 200 нА до 500 нА.
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Разрешение до 0,7 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 10 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 500 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
Новейший РЭМ с термополевым катодом JSM-7800F Prime позволяет получать изображение с самым высоким разрешением в мире для данного класса РЭМ, благодаря обновленному, по сравнению с предыдущей моделью JSM-7800F, режиму Gentle Beam (GBSH). Кроме того, максимальный ток пучка в пушке с катодом Шоттки конструкции «In-lens» увеличен с 200 нА до 500 нА.
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Разрешение до 0,7 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 10 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 500 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JIB-4601F – двулучевая система, представляющая собой растровый электронный микроскоп высокого разрешения с термополевым катодом, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Ионная пушка + расторовый электронный микроскоп с полевой эмиссией
Ионная пушка с ускоряющими напряжением от 1 до 30 кВ
Электронно-оптическая колонна ускоряющим напряженм от 0,2 до 30 кВ
Увеличение на РЭМ от 20 до 1 000 000 крат
Ускоряющее напряжение до 30 кВ
Разрешение до 1,2 нм в режиме высокого вакуума
Диаметр образца до 50 мм, высота до 20 мм
JIB-4601F – двулучевая система, представляющая собой растровый электронный микроскоп высокого разрешения с термополевым катодом, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Ионная пушка + расторовый электронный микроскоп с полевой эмиссией
Ионная пушка с ускоряющими напряжением от 1 до 30 кВ
Электронно-оптическая колонна ускоряющим напряженм от 0,2 до 30 кВ
Увеличение на РЭМ от 20 до 1 000 000 крат
Ускоряющее напряжение до 30 кВ
Разрешение до 1,2 нм в режиме высокого вакуума
Диаметр образца до 50 мм, высота до 20 мм