+7 (495) 909-89-53

Электронно-зондовый микроанализатор 5-го поколения JXA-8230 от JEOL

Электронно-зондовый микроанализатор 5-го поколения JXA-8230 от  JEOL (Япония).
Это превосходный инструмент для неразрушающего, точного локального количественного анализа элементного состава различных материалов. Установка одновременно до 5 волновых спектрометров плюс один ЭДС, возможность дополнительно установить детектор катодолюминесценции или другие приставки, все это делает JXA-8230 непревзойденным инструментом для изучения локального состава образцов.

Особенности

Электронно-зондовый микроанализатор 5-го поколения JXA-8230 – это превосходный инструмент для неразрушающего, точного локального количественного анализа элементного состава различных материалов. Установка одновременно до 5 волновых спектрометров плюс один ЭДС, возможность дополнительно установить детектор катодолюминесценции или другие приставки, все это делает JXA-8230 непревзойденным инструментом для изучения локального состава образцов.

JXA-8230 позволяет получать не только прекрасные результаты количественного анализа, но и отличного качества изображения поверхности образца во вторичных электронах (разрешение 5нм), исследовать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи спектрометров с дисперсией по энергии или по длинам волн, а также изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов, по сути, работая в режиме растрового электронного микроскопа.

Ключевыми преимуществами электронно-зондового микроанализатора JXA-8230 над растровыми электронными микроскопами являются:

  • высокая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка;
  • высочайшая стабильность и точность перемещения столика образцов;
  • Возможность работы в полностью автоматическом режиме: оператор днем задает точки анализа, микроанализатор ночью собирает данные;
  • высокая чувствительность по следовым элементам;
  • высокая производительность, благодаря одновременной работе до5 волновых и одного энергодисперсионного спектрометров.

По желанию заказчика JXA-8230 комплектуется системой катодолюминесценции. Она позволяет регистрировать спектры свечения образцов под воздействием электронного пучка и проводить картирование поверхности на определенных длинах волн. На выбор доступны два типа систем: подключаемые через оптический микроскоп (разработка компании JEOL Australia) и через порт волнового спектрометра (разработка компании Gatan). Первые из них подключаются к окуляру встроенного в микрозонд оптического микроскопа и позволяют регистрировать катодолюминесценцию в процессе работы с волновыми спектрометрами. Вторые покрывают более широкий спектральный диапазон (от жёсткого ультрафиолета до мягкого инфракрасного излучения), но требует наличия свободного WDS-порта.

Основные преимущества:

  • Высочайшая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка (отклонение не более 0,3% за 12 часов) обеспечивает высокую точность анализа;
  • Электронно-оптическая колонна JXA-8230 позволяет получать изображения хорошего качества даже на больших рабочих отрезках (5 нм на рабочем отрезке 11 мм);
  • Возможность выбора оператором катода в зависимости от решаемых в данный момент задач: дешевый вольфрамовый для рутинной работы или LaB6 для тонких исследований;
  • Мощная электронная пушка обеспечивает широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 10 мкА);
  • Микрозонд JXA-8230 комплектуется энергодисперсионным спектрометром и 1-5 спектрометрами с волновой дисперсией. Последние делятся на 2 типа: высокого спектрального разрешения (используются для фазового анализа) и высокой интенсивности (для анализа состава малых примесей);
  • Большой выбор кристаллов для анализа тяжелых и легких элементов;
  • Высокое энергетическое разрешение спектрометров с дисперсией по длинам волн позволяет регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать фазовый состав образцов;
  • Точный анализ даже таких легких элементов, как бериллий, бор, углерод, азот и кислород;
  • Высокая механическая стабильность и высокая точность перемещений столика образцов (воспроизводимость положения столика не хуже 0,5мкм);
  • Большой столик образцов позволяет работать с объектами размерами до 100 мм х 100 мм х 50 мм;
  • Вакуумная система с двухстадийной дифференциальной откачкой;
  • Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (энергодисперсионный спектрометр, система дифракции отраженных электронов, система катодолюминесценции, рентгеновский микрофокусный источник и т.д.);
  • Возможность установки системы проходящего поляризованного света и работы с прозрачно-полированными пластинами.

Характеристики

Электронно-оптическая система
Источник электронов Катод из вольфрама или гексаборида лантана
Диапазон ускоряющих напряжений 0,2 - 30 кВ (с шагом 100 В)
Диапазон токов пучка 1 пА - 10 мкА
Стабильность тока пучка Не более 0,05% в час
И не более 0,3% за 12 часов
Разрешение на аналитическом рабочем отрезке (11 мм) 5 нм при использовании катода на основе монокристалла LaB6
6 нм при использовании вольфрамового катода
Диапазон увеличений от x40 до х300,000
Изображения, получаемые с детектора отраженных электронов Топология поверхности и контраст по атомному номеру
Цифровое разрешение получаемых изображений До 5120х3840 пикселов
Диаметр зонда 40 нм при 10 кВ и 10 нА
100 нм при 10 кВ и 100 нА
Система микроанализа
Диапазон анализируемых элементов На спектрометрах с дисперсией по длинам волн: от 4Be до 92U
На энергодисперсионном спектрометре: от 5B до 92U
Количество спектрометров С дисперсией по длинам волн: от 1 до 5
Энергодисперсионных: 1
Диапазон детектируемых длин волн От 0,087 до 9,3 нм
Столик образцов
Диапазон перемещений образца X: ±90 мм; Y: ±90 мм
Максимальный размер образца 150 мм х 150 мм х 50 мм
Скорость перемещений столика образцов До 15 мм/с
Точность позиционирования столика образцов Не более 0,5 мкм
Приставки
Устанавливаемые приставки Столик для образцов больших размеров
Система катодолюминесценции
Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ)

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее