+7 (495) 909-89-53

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F (HyperProbe) от JEOL

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F (HyperProbe) – это превосходный прибор для неразрушающего, точного локального количественного анализа элементного состава различных материалов на субмикронном уровне. От модели JXA-8230 он отличается тем, что использует в качестве источника электронов катод Шоттки и обладает более высокой яркостью и намного меньшим диаметром электронного пучка. Это позволяет JXA-8530F проводить анализ с более высокой локальностью, чем зондам с вольфрамовыми и LaB6 катодами.

Особенности

JXA-8530F дает возможность не только получать точные результаты количественного анализа, но и регистрировать отличного качества изображения поверхности образца. Разрешение JXA-8530F в режиме регистрации вторичных электронов составляет 3 нм на аналитическом рабочем отрезке 11 мм, что является прекрасным показателем для микрозонда. Также этот прибор позволяет исследовать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи спектрометров с дисперсией по энергии или по длинам волн, изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов, по сути, работая в режиме растрового электронного микроскопа.

Ключевыми преимуществами электронно-зондового микроанализатора JXA-8530F над РЭМ являются:

  • высокая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка;
  • высочайшая стабильность и точность перемещения столика образцов;
  • возможность работы в полностью автоматическом режиме: оператор днем задает точки анализа, микроанализатор ночью накапливает данные;
  • высокая чувствительность по следовым элементам;
  • высокая производительность, благодаря одновременной работе до 5 волновых и одного энергодисперсионного спектрометров.

По желанию заказчика JXA-8530F комплектуется системой катодолюминесценции. Она позволяет регистрировать спектры свечения образцов под воздействием электронного пучка и проводить картирование поверхности на определенных длинах волн. На выбор доступны два типа систем: подключаемые через оптический микроскоп (разработка компании JEOL Australia) и через порт волнового спектрометра (разработка компании Gatan). Первые из них подключаются к окуляру встроенного в микрозонд оптического микроскопа и позволяют регистрировать катодолюминесценцию в процессе работы с волновыми спектрометрами. Вторые покрывают более широкий спектральный диапазон (от жёсткого ультрафиолета до мягкого инфракрасного излучения), но требуют наличия свободного порта WDS.

Основные преимущества:

  • Высочайшая стабильность ускоряющего напряжения и тока пучка (отклонение не более 0,3% в час) обеспечивает высокую точность анализа;
  • Электронно-оптическая колонна JXA-8530F с катодом Шоттки позволяет получать изображения хорошего качества даже на больших рабочих отрезках (3 нм на рабочем отрезке 11 мм);
  • Мощная электронная пушка обеспечивает широкий диапазон токов пучка (от 1 пА до 500 нА);
  • Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F комплектуется энергодисперсионным спектрометром и 1-5 спектрометрами с волновой дисперсией. Последние делятся на 2 типа: высокого спектрального разрешения (используются для фазового анализа) и высокой интенсивности (для анализа состава малых примесей);
  • Большой выбор кристаллов для анализа тяжелых и легких элементов;
  • Высокое энергетическое разрешение спектрометров с дисперсией по длинам волн позволяет регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать фазовый состав образцов;
  • Точный анализ даже таких легких элементов, как бериллий, бор, углерод, азот и кислород;
  • Высокая механическая стабильность и высокая точность перемещений столика образцов (воспроизводимость положения столика не хуже 0,5мкм);
  • Большой столик образцов позволяет работать с объектами размерами до 100 мм х 100 мм х 50 мм;
  • Вакуумная система с двухстадийной дифференциальной откачкой;
  • Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (дополнительный энергодисперсионный спектрометр, система дифракции отраженных электронов, система катодолюминесценции, рентгеновский микрофокусный источник и т.д.);
  • Возможность установки системы проходящего поляризованного света и работы с прозрачно-полированными пластинами.

Характеристики

Электронно-оптическая система
Источник электронов Термополевой катод Шоттки
Диапазон ускоряющих напряжений 1 - 30 кВ (с шагом 100 В)
Диапазон токов пучка 1 пА - 500 нА
Стабильность тока пучка Не более 0,3% в час
Разрешение на аналитическом рабочем отрезке (11 мм) 3 нм 
Диапазон увеличений от x40 до х350,000
Изображения, получаемые с детектора отраженных электронов Топология поверхности и контраст по атомному номеру
Цифровое разрешение получаемых изображений До 5120х3840 пикселов
Диаметр зонда 40 нм при 10 кВ и 10 нА
100 нм при 10 кВ и 100 нА
Система микроанализа
Диапазон анализируемых элементов На спектрометрах с дисперсией по длинам волн: от 4Be до 92U
На энергодисперсионном спектрометре: от 5B до 92U
Количество спектрометров С дисперсией по длинам волн: от 1 до 5
Энергодисперсионных: 1
Диапазон детектируемых длин волн От 0,087 до 9,3 нм
Столик образцов
Диапазон перемещений образца X: ±90 мм; Y: ±90 мм
Максимальный размер образца 100 мм х 100 мм х 50 мм
Скорость перемещений столика образцов До 15 мм/с
Точность позиционирования столика образцов Не более 0,5 мкм
Приставки
Устанавливаемые приставки Столик для образцов больших размеров
Система катодолюминесценции
Дополнительный энергодисперсионный спектрометр
Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ)
Рентгеновский микрофокусный источник

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее