+7 (495) 909-89-53

Стилусный профилометр Alpha-Step D-600

профилометр смотреть фото

Стилусный профилометр Alpha-Step® D-600 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.

Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-600 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах.

D-600 имеет 200-миллиметровый рабочий столик с перемещением по X-Y в пределах 150х178 мм. Новое программное обеспечение дает возможность задать последовательно ручное выравнивание и до 1000 местоположений на образце. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.

Применение: 
Точный шаг высоты
Исследования текстуры поверхности
Напряжения в тонких пленках
Исследование биологических объектов
Микроэлектромеханические системы (MEMS)
Форма и наклон поверхности
Характеризация материалов
Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности
Исследование шероховатости и дефектности поверхности
3D измерения (сканирование)

Особенности

  • Стилусный профилометр D-600 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства.

  • Рабочий столик на 200 мм обеспечивает длину сканирования до 55 мм без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей, и до 200 мм при использовании функции сшивания. D-600 предоставляет самый высокий вертикальный диапазон измерений до 1200 мкм и технологию сенсора низкого усилия до 0.03 мг, это гарантирует точность сканирование для множества приложений, включая тонкие пленки, мягкие материалы, высокие шаги высот, изгиб и напряжение.
  • D-600 имеет передовую оптику, которая включает 5 МП камеру высокого разрешения с 4x цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
  • Сверхвысокоточное изготовление оптического датчика уровня обеспечивает его конструкции высокую безинерционность и самые низкие шумы. Результатом этого является повторяемость измерений высоты шага на уровне 5 Å для 1 мкм шага высоты.
  • Упрощенное создание рецептов позволяет быстро установить параметры 3D сканирования, упорядоченных для множественных сканирований и измерений, ориентировать точки привязки выравнивания и автоматически сшивать при измерениях напряженности в пленках. Рецепт и системные средства управления отображают в одном окне расположение образца и текущее измерение. Сохранение исходных данных позволяет производить пересчет без повторных измерений.
  • Новое программное обеспечение корректировки трапецеидального искажения автоматически удаляет типовые искажение вносимые угловой оптикой.
  • Специальное программное обеспечение удаляет ошибку движения по дуге во время сканирования, улучшая точность измерений углов боковой стенки и ширины шага.
  • 3D сканирование воспроизводит фото-реалистические поверхности, позволяя провести подробный анализ образца: высоты шага, текстуры и формы. Опция 2D напряжения использует Уравнение Стони и изменения изгиба образца перед и после обработки для вычисления напряжения в тонкой пленке. Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Столик  200 мм
Длина сканирования (хода стилуса) до 55 мм без сшивки
до 200 мм с применением сшивки 
Вертикальный диапазон измерения

 до 1200 мкм

Повторяемость 5Å при измерении ступени 1 мкм

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Стилусный профилометр Alpha-Step D-600

Также Вас может заинтересовать
Стилусный профилометр P-7

Стилусный профилометр P-7 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках для промышленных приложений с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.

Рабочий столик: 150 мм
Длина сканирования: до 150 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows 

Стилусный профилометр P-7 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках для промышленных приложений с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.

Рабочий столик: 150 мм
Длина сканирования: до 150 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows 

Стилусный профилометр P-17

Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.

Рабочий столик: 200 мм (до 300 мм)
Длина сканирования: до 200 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows 

Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.

Рабочий столик: 200 мм (до 300 мм)
Длина сканирования: до 200 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows 

Стилусный профилометр Alpha-Step D-500

Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.

Рабочий столик: 140 мм
Длина сканирования: до 30 мм и до 80 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows 

Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.

Рабочий столик: 140 мм
Длина сканирования: до 30 мм и до 80 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows