Стилусный профилометр Alpha-Step® D-600 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-600 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах.
D-600 имеет 200-миллиметровый рабочий столик с перемещением по X-Y в пределах 150х178 мм. Новое программное обеспечение дает возможность задать последовательно ручное выравнивание и до 1000 местоположений на образце. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
Применение:
Точный шаг высоты
Исследования текстуры поверхности
Напряжения в тонких пленках
Исследование биологических объектов
Микроэлектромеханические системы (MEMS)
Форма и наклон поверхности
Характеризация материалов
Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности
Исследование шероховатости и дефектности поверхности
3D измерения (сканирование)
Стилусный профилометр D-600 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства.
Столик | 200 мм |
Длина сканирования (хода стилуса) | до 55 мм без сшивки до 200 мм с применением сшивки |
Вертикальный диапазон измерения |
до 1200 мкм |
Повторяемость | 5Å при измерении ступени 1 мкм |
Стилусный профилометр P-7 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках для промышленных приложений с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Рабочий столик: 150 мм
Длина сканирования: до 150 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Стилусный профилометр P-7 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках для промышленных приложений с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Рабочий столик: 150 мм
Длина сканирования: до 150 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Рабочий столик: 200 мм (до 300 мм)
Длина сканирования: до 200 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Рабочий столик: 200 мм (до 300 мм)
Длина сканирования: до 200 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Рабочий столик: 140 мм
Длина сканирования: до 30 мм и до 80 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Рабочий столик: 140 мм
Длина сканирования: до 30 мм и до 80 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows