Стилусный профилометр P-17

Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.

Прибор оснащен рабочим столиком с длинной сканирования до 200 мм, эта возможность бесшовного измерения поверхности является уникальной для данного типа приборов. Датчик UltraLite® обеспечивает динамический контроль за нажатием, превосходную линейность и самое высокое вертикальное разрешение, эти особенности делают его лучшим датчиком, возможным для стилуного профилометра. Модель P-17 благодаря своим выдающимся характеристикам дает возможность пользователю увеличить свой опыт работы в таких аспектах, как: визуальный контроль с помощью оптики и анализ видов сверху и сбоку, мониторинг глубины рельефа и функционирование моторизированного рабочего столика с функциями поворота и выравнивания.. Наконец, поверхностный инструмент измерения включает операцию «укажи и выбери обработку» и пакет программного обеспечения обеспечивающие самую легкую и удобную работу с инструментом для измерения и анализа поверхности как в университетах, исследовательских лабораториях так и на производстве.

P-17 (с открытым рабочим столиком) может работать с большим диапазоном образцов с размерами до 9.5”x9.5” и до 300 мм диаметром.

Применение: 

Полупроводники 
Вогнутости и выгнутости в результате ХМП обработки, поверхностная характеристика и планаризация оксидных слоев для получения более превосходных приборов и уменьшения процента выхода годных изделий. Измерения высоты, взаимной планаризация и грубости столбиковых выводов для флип-чип технологии. Мониторинг глубины рельефа для открытых геометрий в сочетании с автоматизированным анализом и простыми установками процесса.

Память 
Тонкопленочные пластины и слайдеры, жесткие диски, оптические и магнитные носители. Область применения с пластинами включает: толщину металлизации, контуры высоты и ХМП планаризацию. Область применения со слайдерами включает: анализ рецессии наконечника полюса, воздушные впадины кантиливера и характеризация лазерной текстуры столбиковые выводов (высоты, ширины и тд).

MEMS и оптоэлектроника 
MEMS иd опто-электронные эталоны высоты, высота и искривление микро-линз, мониторинг DWDM.

Другое 
Гибридные схемы и керамические подложки, бумага и фольгированные покрытия, полированные и обработанные поверхности, покрытые или окрашенные поверхности и поверхности, обработанные с точностью любого типа. Запросить брошюру в PDF