+7 (495) 909-89-53

Стилусный профилометр P-7

Стилусный профилометр P-7 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках для промышленных приложений с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.

Прибор оснащен рабочим столиком диаметром 150 мм, обеспечивающим бесшовную длину сканирования до 150 мм, эта возможность бесшовного измерения поверхности является уникальной для данного типа приборов. Датчик UltraLite® обеспечивает динамический контроль нажатия стилуса, превосходную линейность и самое высокое вертикальное разрешение, эти особенности делают его лучшим датчиком, возможным для стилуного профилометра. Наконец, этот инструмент измерения поверхности обладает функцией «укажи и выбери обработку» и пакет программного обеспечения обеспечивающие самую легкую и удобную работу с инструментом для измерения и анализа поверхности как в университетах, исследовательских лабораториях так и на производстве.

Применение: 
Разработка процессов производства и контроля научных исследований
Производство фотоэлектрических элементов
Производство устройств хранения данных
Производство микроэлектромеханических систем
Оптоэлектроника
Прочие применения промышленной метрологии высокоточных производств.
измерения высоты ступеньки тонких слоев
измерения высоты ступеньки толстых слоев
измерения слоев фоторезиста и других мягких покрытий
глубина травления
характеризация поверхностной грубости и волнистости
искривление и форма поверхности
2D напряжение в тонких пленках
анализ размеров топологии и поверхностных структур
3D отображение различных поверхностей
определение плоскостности и искривления
обзор и анализ дефектов
и многое другое

Приложения для профилометра P-7

  • Измерение толщины и шероховатости тонких пленкок и покрытий;
  • Исследование структуры пластичных материалов (возможно за счет приложения переменного усилия к стилусу, использования емкостного датчика положения, а так же сменных стилусов);
  • Измерение глубины травления;
  • Вычисление более чем 40 различных параметров поверхности, в том числе шероховатость, плоскопараллельность, макрорельеф с помощью программного обеспечения для анализа пиков;
  • Расчет параметров топологии поверхности по данным измерений и преобразование результата в 3D модель. В качестве опции предлагается офлайн анализ данных, позволяющий производить анализ без влияния на производительность;
  • Измерение напряжений в тонких пленках (позволяет оптимизировать процессы для предотвращения появления трещин или нарушений адгезии);
  • Выявление дефектов поверхности. Продвинутые характеристики системы выявления дефектов позволяют добавлять модели дефектов, созданные пользователем. Даже самые маленькие дефекты в случае их обнаружения могут быть перемещены в центр сканируемой области, оптимизируя тем самым процесс обследования и анализа дефектов. Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Столик  150 мм
Длина сканирования (хода стилуса) до 150 мм без сшивки
Вертикальный диапазон измерения

 до 1000 мкм

Повторяемость 4Å при измерении ступени 1 мкм (1σ)

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее