Стилусный профилометр P-7 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках для промышленных приложений с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Прибор оснащен рабочим столиком диаметром 150 мм, обеспечивающим бесшовную длину сканирования до 150 мм, эта возможность бесшовного измерения поверхности является уникальной для данного типа приборов. Датчик UltraLite® обеспечивает динамический контроль нажатия стилуса, превосходную линейность и самое высокое вертикальное разрешение, эти особенности делают его лучшим датчиком, возможным для стилуного профилометра. Наконец, этот инструмент измерения поверхности обладает функцией «укажи и выбери обработку» и пакет программного обеспечения обеспечивающие самую легкую и удобную работу с инструментом для измерения и анализа поверхности как в университетах, исследовательских лабораториях так и на производстве.
Применение:
Разработка процессов производства и контроля научных исследований
Производство фотоэлектрических элементов
Производство устройств хранения данных
Производство микроэлектромеханических систем
Оптоэлектроника
Прочие применения промышленной метрологии высокоточных производств.
измерения высоты ступеньки тонких слоев
измерения высоты ступеньки толстых слоев
измерения слоев фоторезиста и других мягких покрытий
глубина травления
характеризация поверхностной грубости и волнистости
искривление и форма поверхности
2D напряжение в тонких пленках
анализ размеров топологии и поверхностных структур
3D отображение различных поверхностей
определение плоскостности и искривления
обзор и анализ дефектов
и многое другое
Столик | 150 мм |
Длина сканирования (хода стилуса) | до 150 мм без сшивки |
Вертикальный диапазон измерения |
до 1000 мкм |
Повторяемость | 4Å при измерении ступени 1 мкм (1σ) |
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Рабочий столик: 140 мм
Длина сканирования: до 30 мм и до 80 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-500 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Рабочий столик: 140 мм
Длина сканирования: до 30 мм и до 80 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Рабочий столик: 200 мм (до 300 мм)
Длина сканирования: до 200 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Продвинутый стилусный профилометр P-17 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках в промышленных цыклах производства с высоконадежным воспроизводством измерений и исследований.
Рабочий столик: 200 мм (до 300 мм)
Длина сканирования: до 200 мм без сшивания
Вертикальный диапазон измерений: до 1000 мкм
Повторяемость измерения 4 Å на ступеньке 1 мкм (1σ)
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-600 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Рабочий столик: 200 мм
Перемещение по XY: 150x178 мм
Длина сканирования: до 55 мм и до 200 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows
Стилусный профилометр Alpha-Step® D-600 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Рабочий столик: 200 мм
Перемещение по XY: 150x178 мм
Длина сканирования: до 55 мм и до 200 мм при сшивании
Вертикальный диапазон измерений: до 1200 мкм
Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 15 мг
Повторяемость измерения 5 Å на ступеньке 1 мкм
Программное обеспечение совместимо с ОС Windows