Полуавтоматические зондовые станции производства MS TECH (Корея) на базе станций MST-9000C и MST-12000C предназначены для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF до 110 ГГц) сигналов и автоматическом режиме. Станции подходит для производства, исследования и разработки, а также обучения по технологиям ИС на одиночных образцах. Идеальный прибор для согласования нагрузок и замера ВЧ-шумов.

Полуавтоматические зондовые станции компании MS TECH просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 200 мм или до 300 мм и DC и RF (до 110 ГГц) измерений. 

Особенности

• Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец в ручную.
• Тестирование на образцах (пластинах) до 200 мм / до 300 мм (вакуумный держатель 200мм/300 мм)
• Измерения DC  - RF (до 110 ГГц)
• Низкий уровень шума - 10 fA
• Перемещение столика 203х203 мм (разрешение 5 мкм, повторяемость 10 мкм)
• Перемещение столка в автоматическом режиме по XY, Z, Thetta
• Ось Z: еремещение 12 мм, разреение 2 мкм, Повторяемость 2 мкм, точность 2 мкм
• до 8 микропозиционеров (DC или RF)
• Опция: 4 зондовый контроль
• Конфигурация зондов: GSG, GS, Dual, Multi Pin (50 - 2540 мкм или др. по запросу)
• RF Зонды: 20 ГГц, 40 ГГц, 67 ГГц, 110 ГГц
• RF Кабели: 20 ГГц, 40 ГГц, 67 ГГц, 110 ГГц, 1M, 2M
• RF калибровочная плита
• Устойчивая плита, допускающая установку микропозиционеров
• Микроскоп с автоматическим фокусом с увеличенем 1000х-3000х, 20дюймов CCD
• Цифровая камера 2,1M 
• Запись, протоколирование
• Опционально (экранирование для светочувствиетльных измерений, антивибрационный стол, температурные преметные столики)

Скачать брощюру MS TECH в PDF