+7 (495) 909-89-53

Газовые шкафы

svcsgcm

Газовые шкафы и системы доставки ультра чистых сред производства компаний SVCS (Чехия).

SVCS (Чехия)  - компания разработчик и производитель промышленных горизонтальных диффузионных печей для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности и производства изделий фотовольтаики (производство солнечных элементов). Печи для атмосферной обработки и LPCVD и MOCVD процессов  (химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении), а также газовых шкафов и средств доставки ультрачистых сред.

Фирма «SVCS» была основана в 2000 году группой частных лиц, использующих долголетний опыт из разных областей деятельности – разработки и реализации систем управления, продажи ультрачистых компонентов и систем для распределения газа, разработки и производства точных механических систем и международной торговли.

SV-DELI  - системы доставки ультрачистых (UHP) газов и сред включает:

- Газовые шкафы для 1, 2 или 3 газовых баллонов
- Распределительные клапана
- Корпуса газовых систем и газовые панели
- газовые системы для полупроводниковых производств
- Газовые панели по индивидуальному заказу

Газовые шкафы: 

Конфигурации:
- Открытые, смонтированные на стене системы (для инертных газов)
- Газовые шкафы для одного баллона с продувкой из внешнего источника
- Газовые шкафы для двух баллонов

Исполнение:

- место для установки двух баллонов с продувкой из внешнего источника и системой автоматической смены баллона в случае окончания газа в первом
- 1 баллон для процессного газа, 1 баллон для продувки
- Газовые шкафы для трех баллонов (2 баллона для процессных газов и один баллон для продувки), автоматическая смена баллонов

Особенности системы управления:

- полностью автоматическая система управления и контроля с точскрин монитором
- Автоматическая продувка
- Контроль давления в баллоне и контроль веса баллона
- Датчик давления для контроля давления снаружи
- программатор для контроля лимитов по давлению и весу баллона для переключения между баллонами
- Внешние цифровые вход и выход
- Ethernet для связи по сети

Скачать брощюру в PDF

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее