Устройство CLEAN-PROTECT предназначено для поглощения токсичных или других опасных газов при аварийном выбросе газа. Данное предохранительное устройство обеспечивает защиту от неконтролируемого выброса токсичных, агрессивных или самовоспламеняющихся газов из одного или нескольких газораспределительных устройств системы газоснабжения, таким образом обеспечивая защиту производственных помещений и прилегающей к заводу местности.
Сердцевиной системы CLEAN-PROTECT является сухой хемосорбент CLEANSORB®. В системе CLEAN-PROTECT выбрасываемые газы подвергаются необратимой химической реакции (окислению или нейтрализации), в результате чего безопасно преобразуются в твердые побочные продукты. Такая система встраивается в контур отвода воздуха и не требует для своей работы устройств электропитания или другого типа. Это значит, что система постоянно находится в режиме готовности к работе.
Система CLEAN-PROTECT изготавливается из высококачественной нержавеющей стали 316L. При отсутствии аварийных выбросов газа частота замены слоя поглотителя составляет пять лет.
Скрубберы с сухой засыпкой (гранулы) CLEANSORB для нейтрализации отходящих газов при проведении процессов: плазменного травления, ионной имплантации, PECVD, LPCVD процессов, плазменной очистки камер, эпитаксии, изготовление фотоэлементов и газоснабжении.
Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании рассчитаны на бессрочную эксплуатацию и пригодны для повторного использования.
Скрубберы с сухой засыпкой (гранулы) CLEANSORB для нейтрализации отходящих газов при проведении процессов: плазменного травления, ионной имплантации, PECVD, LPCVD процессов, плазменной очистки камер, эпитаксии, изготовление фотоэлементов и газоснабжении.
Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании рассчитаны на бессрочную эксплуатацию и пригодны для повторного использования.
Перед установкой нового газового баллона в линию с газораспределительным устройством системы газоснабжения необходимо удалить технологический газ, оставшийся от предшествующего газового баллона. Это делается как в целях безопасности, так и в целях обеспечения непрерывности подачи свежего газа. Остаточный газ может оказаться высококонцентрированным токсичным, самовоспламеняющимся или агрессивным газом, что представляет собой значительную угрозу безопасности.
Перед установкой нового газового баллона в линию с газораспределительным устройством системы газоснабжения необходимо удалить технологический газ, оставшийся от предшествующего газового баллона. Это делается как в целях безопасности, так и в целях обеспечения непрерывности подачи свежего газа. Остаточный газ может оказаться высококонцентрированным токсичным, самовоспламеняющимся или агрессивным газом, что представляет собой значительную угрозу безопасности.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
