FABLINE представляет собой стандартную модель CLEANSORB для удаления отходящих газов в масштабах всего предприятия. Доступная в трех размерах колонн, эта система легко адаптируется под требования как линий управления, так и полномасштабных производственных линий. Продукты CLEANSORB пользуются завидной репутацией за свою прочность и надежность даже в самых жестких технологических режимах, что подтверждено 25-летним опытом эксплуатации на нескольких тысячах производственных линий во всем мире. Продукты FABLINE изготавливаются из коррозионно-стойкой нержавеющей стали 316L и высококачественных надежных компонентов.
Выполненные на основе фирменного хемосорбента CLEANSORB® от компании CS CLEAN SYSTEMS, продукты FABLINE — идеальный выбор для самого широкого спектра применения, включая следующее. Плазменное травление, химическое осаждение (CVD), осаждение атомных слоев (ОАС), ионная имплантация и изготовление фотоэлементов на основе диселенида меди-индия-галлия.
Автономные устройства CLEANSORB могут использоваться в небольших исследовательских лабораториях или с автономными абсорбционными колоннами для удаления оставшихся газов на выходе экспериментальных камер. В качестве дополнительного оборудования доступно несколько компонентов обеспечения безопасности, включая шкафы с возможностью удаления воздуха, а также устройства контроля давления и обнаружения отходящих газов.
Автономные устройства CLEANSORB могут использоваться в небольших исследовательских лабораториях или с автономными абсорбционными колоннами для удаления оставшихся газов на выходе экспериментальных камер. В качестве дополнительного оборудования доступно несколько компонентов обеспечения безопасности, включая шкафы с возможностью удаления воздуха, а также устройства контроля давления и обнаружения отходящих газов.
Серия PRIMELINE представляет собой полнофункциональную модификацию семейства сухих скрубберов отработанных газов CLEANSORB. Данная система была специально сконструирована для работы с газовыми потоками и связанными с ними процессами в системах с повышенными требованиями к безопасности, в частности, с процессами химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD).
Серия PRIMELINE представляет собой полнофункциональную модификацию семейства сухих скрубберов отработанных газов CLEANSORB. Данная система была специально сконструирована для работы с газовыми потоками и связанными с ними процессами в системах с повышенными требованиями к безопасности, в частности, с процессами химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD).
Серия CLEANSORB LABLINE отличается небольшими размерами абсорбционной колонны, установленной в компактном шкафе с возможностью удаления воздуха.
Возможность пассивного хемосорбирования опасных газов при температуре окружающей среды — дополнительное преимущество при нерегулярных лабораторных работах, так как система LABLINE всегда будет готова к работе, не требуя предварительного подогрева или иной активации при каждом новом эксперименте.
Серия CLEANSORB LABLINE отличается небольшими размерами абсорбционной колонны, установленной в компактном шкафе с возможностью удаления воздуха.
Возможность пассивного хемосорбирования опасных газов при температуре окружающей среды — дополнительное преимущество при нерегулярных лабораторных работах, так как система LABLINE всегда будет готова к работе, не требуя предварительного подогрева или иной активации при каждом новом эксперименте.