+7 (495) 909-89-53

Контактная фотолитография

Установка совмещения и экспонирования MDA-400LJ с ручным управлением

Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства. 

Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M с ручным управлением

Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства

Точность совмещения 1 мкм. 
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M-6 с ручным управлением и PC/PLC контролем

Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства

Точность совмещения 1 мкм. 
Обработка пластин до 150 мм (6 дюймов).
Максимальный размер фотошаблона 178х178 мм (7х7 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
PC контроль

Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования MDA-600S

Новая полуавтоматическая установка MDA-600S производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.

По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.  
Обработка пластин до 150 мм.
Перемещение столика полуавтоматическое при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования MDA-60MS-2

Полуавтоматическая установка MDA-60MS-2 производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.

По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.  
Обработка пластин до 200 мм.
Перемещение столика полуавтоматическое при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA

Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA производства MIDAS SYSTEM (Корея) для серийного производства - прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.

По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.  
Обработка пластин до 200 мм / 300 мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

Полностью автоматические установки совмещения и экспонирования MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA

Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.

Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.

Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.   
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее