Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA производства MIDAS SYSTEM (Корея) для серийного производства - прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 200 мм / 300 мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.
| Установка | MDA-80SA | MDA-12SA |
| Мощность лампы |
УФ источник света с мощностью 2 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения. |
УФ источник света с мощностью 2 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения. |
| Размер подложки |
кусочки, пластины до 8 дюймов, размер подложек до 8х8 дюйма |
кусочки, пластины до 12 дюймов, размер подложек до 12х12 дюйма |
| Точность | 1 микрон | 1 микрон |
| Разрешение | 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм с вакуумным контактом) | 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм с вакуумным контактом) |
| Размер маски | до 9 х 9 дюймов | до 13 х 13 дюймов |
| УФ лампа | 2 кВт. |
2 кВт или 5 кВт |
| Диапазон длин волн засветки | 350-450 нм, или другие по запросу. | 350-450 нм, или другие по запросу. |
| Размер однородного пучка | 9,25" х 9,25" | 13,25" х 13,25" |
| Оптическое зрение (микроскоп) | Микроскоп двойного поля (90x - 500x увеличение, или 180-1000х по запросу), CCD камера | Микроскоп двойного поля (90x - 500x увеличение, или 180-1000х по запросу), CCD камера |
| Однородность пучка | < +/-5% | < +/-5% |
| Интенсивность излучения при длине волны 365 нм | Максимальная 15-25 мВт/см2 | Максимальная 15-20 мВт/см2 (2 кВт) Максимальная 25-60 мВт/см2 (5 кВт) |
| Режим управления | с ПК (PLC контроль) | с ПК (PLC контроль) |
| Регулируемое время экспонирования | 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс. | 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс. |
| Совмещение подложек | Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 10 мм или другой по запросу) и по углу θ (± 4°). Z и θ моторизованы. Вес подложек до 2 кг. |
Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 10 мм или другой по запросу) и по углу θ (± 4°). Z и θ моторизованы. Вес подложек до 2 кг. |
| Выравнивание | Компенсация ошибки клина Автоматическое определение края - датчик давления |
Компенсация ошибки клина Автоматическое определение края - датчик давления |
| Методы экспонирования | Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм) регулируемое с помощью ПК и специального ПО. | Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм) регулируемое с помощью ПК и специального ПО. |
| Опции |
CCD BSA - обратное совмещение с помошью CCD камеры, |
CCD BSA - обратное совмещение с помошью CCD камеры, |
Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
