Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства.
Точность сомещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.
Лампы | UV-LED источник света с контролем интенсивности и мощности излучения с длиной волны 365 нм. (для i-line резистов) |
Размер подложки | Кусочки, пластины до 4 дюймов, размер подложек 4х4 дюйма |
Точность | 1 микрон |
Разрешение | 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм) |
Размер маски | До 5 х 5 дюймов |
Оптическое зрение | Микроскоп двойного поля 1.4x~9x, двойной монитор |
Размер однородного пучка | 125 мм в диаметре |
Однородность пучка | < 3% |
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм | Максимальная 10 мВт/см2 |
Режим управления | Полностью ручной |
Регулируемое время экспонирования | 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс |
Совмещение подложек |
Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z, по осям х,у ± 5 мм) и по углу θ (± 4°), движение по оси z - 10 мм |
Выравнивание | Компенсация ошибки клина |
Методы экспонирования | Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм) |
Стол | Антивибрационный стол (опция) |
Наноимпринт | UV-NIL (опция) |
Новая полуавтоматическая установка MDA-600S производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Новая полуавтоматическая установка MDA-600S производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA производства MIDAS SYSTEM (Корея) для серийного производства - прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 200 мм / 300 мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.
Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA производства MIDAS SYSTEM (Корея) для серийного производства - прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.
Обработка пластин до 200 мм / 300 мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.
Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с полностью ручным управлением широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства
Точность совмещения 1 мкм.
Обработка пластин до 100 мм.
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование