+7 (495) 909-89-53

Установка совмещения и экспонирования MDA-400LJ с ручным управлением

Бюджетная установки MDA-400LJ производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства. 
Точность сомещения 1 мкм. 
Обработка пластин до 100 мм.
Ручное совмещение и ручное экспонирование.

Особенности

  • Прецизионная точность совмещения 1 мкм
  • Многофункциональный держатель для кусочков и пластин до 4’’ (100мм)
  • Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
  • Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
  • LED источник УФ излучения для экспонирования с длиной волны 365 нм.
  • Антивибрационный стол (опция)
  • UV-NIL (опция) 
  • Эргономичный дизайн для удобного использования
  • Низкая стоимость/высокое качество
Скачать брошюру в PDF

Характеристики

Лампы UV-LED источник света с контролем интенсивности и мощности излучения с длиной волны 365 нм. (для i-line резистов)
Размер подложки Кусочки, пластины до 4 дюймов, размер подложек 4х4 дюйма
Точность 1 микрон
Разрешение 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом  (возможно 0,8 мкм)
Размер маски До 5 х 5 дюймов
Оптическое зрение Микроскоп двойного поля 1.4x~9x, двойной монитор
Размер однородного пучка 125 мм в диаметре
Однородность пучка < 3%
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 10 мВт/см2
Режим управления Полностью ручной
Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,сек с шагом 100 мс
Совмещение подложек

Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z, по осям х,у ± 5 мм) и по углу θ (± 4°), движение по оси z - 10 мм

Выравнивание Компенсация ошибки клина
Методы экспонирования Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм) 
Стол Антивибрационный стол (опция)
Наноимпринт  UV-NIL (опция) 

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru  

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее