+7 (495) 909-89-53

Установка SprayCVD-050 от ANNEALSYS (Франция)

SprayCVD-050_Loading

Лабораторная печь для процессов SprayCVD на подложках диаметром до 2-ух дюймов производства ANNEALSYS (Франция). Осаждение и отжиг (RTA) в одной камере.  

Применение:
- SprayCVD и быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing) в одной печи
- Электрооптические покрытия
- Создание барьерных слоев
- Каталитически активные покрытия
- Электрохромные покрытия
- Прозрачные проводящие оксиды
- Solid oxide fuel cell (SOFC)

- Отжиг соединений полупроводников 
- Солнечные элементы: SnO2, ZnO, TiO2, In2O3,…
- Электро-оптические покрытия: NiO, Co3O4,…
- запоминающее устройство на сегнетоэлектриках: SrTiO3,…
- Изолирующие барьерные слои: MgO,…
- Каталитические активные покрытия: Co3O4 , NiCo2O4,…
- Полупроводники: Nb2O5,…
- Сверхпроводники: YBCO,…
- Электрохромовые покрытия: WO3,…
- Твердооксидный топливный элементы: (SOFC): ZrO2, YSZ, GCO,…

Особенности

  • Термопроцессор для быстрого термического отжига и SprayCVD процессов на 2-дюймовых пластинах

  • Узкоспециализированные и исследовательские задачи применения

  • Размер образцов: от нескольких квадратных миллиметров до 2-ух дюймов в диаметре или 2х2 дюйма

  • Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали

  • Цилиндрические инфракрасные галогеновые лампы печи

  • Очень высокая скорость нагрева

  • Дверь с горизонтальным движением с кварцевым лотком для легкой загрузки/выгрузки пластин и установки термопар.

  • Компактная напольная конфигурация для экономии места
  • Высокая надежность и низкая стоимость владения
  • Высокая воспроизводимость процесса
  • Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти
  • Вакуумная версия (10-3 Торр) 
  • Пирометр и термопара для контроля температуры
  • Быстрый цифровой контроллер температуры PID
  • До 3-ти газовых линий
Скачать брощюру в PDF
Скачать презентацию в PDF

Характеристики

Максимальный размер образца

до 2 х 2 дюйма или до 2 дюймов в диаметре.

Температурный диапазон

от комнатной (RT) до 1200°C (в зависимости от версии)

Газовая система Возможность смешивать процессные газы, Контроллеры массового расхода газа
До 3 штук (MFC)
Вакуум от атм. (н.у.) до 10-3 Торр 
Контроль температуры измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур
Управление система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее