Заявка на обратный звонок

Контактное лицо*
Номер телефона*
* - обязательные для заполнения поля
Введите этот код
###
+7 (495) 909-89-53
Обратный звонок
RU | EN
Минатех » Оборудование » Технологическое оборудование » Диффузионные печи » Горизонтальные диффузионные печи SVCS для LPCVD процессов

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для LPCVD процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи lpcvd_2pecvd_schemalpcvd_1

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Конструкция печей компании SVCS для процессов осаждения при пониженном давлении LPCVD сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVсFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVсFUR-RD). Серия SVсFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.

Процессы: 
- Нитрид кремния
- Низкотемпературный оксид (LTO)
- Высокотемпературный оксид (HTO)
- ТЭОС
- Поликремний
- Легированный поликремний
- Оксинитрид

Особенности

  • Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
  • Современная модульная система управления собственной разработки и производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
  • До 4 горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
  • Различные способы управления уровнем вакуума (с нагревом или без нагрева)
- Поворотный дисковый затвор– TBV
- Применение балластного азота
- Частотное управление вакуумным насосом
  • Интеграция вакуумных насосов в сотрудничестве с ведущими производителями
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Водоохлаждаемые фланцы собственного производства
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Удобная в обслуживании конструкция
  • Современная модульная система управления собственной разработки и производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
  • До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Удобная в обслуживании конструкция
Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Размер пластин 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой
Размер партии

SVaFUR-FP: 100 и более пластин  и SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)
Система нагрева

3 или 5 зонная SVaFUR-FP:до 1067мм (42") и SVaFUR-RD: до 300мм (12")
0.5°C равномерность температуры по длине
Температура процессов 200°C до 1200°C
Энергопотребление 

80кВт – 150кВт в зависимости от конфигурации труб, 
300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50  60 Гц, 
200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц 
(системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)
Сухой чистый воздух 70 – 110 psig (4,8 to 7,6 bar)
Водя для охлаждения

40 - 60 LPM, Выхлоп 210m³/h на трубу
Опции

лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки
Стимер для влажного окисления 

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для LPCVD процессов

Также Вас может заинтересовать
Горизонтальные диффузионные печи SVCS для атмосферных процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.) 
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.) 
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для PECVD процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
PECVD осаждение: 

  • Нитрид кремния (включая антиотражающие покрытия для солнечных элементов)
  • Оксид кремния
  • Оксинитрид кремния

Температурный диапазон: от 200 до 800°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
PECVD осаждение: 

  • Нитрид кремния (включая антиотражающие покрытия для солнечных элементов)
  • Оксид кремния
  • Оксинитрид кремния

Температурный диапазон: от 200 до 800°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Лабораторные диффузионные печи серии PEO для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD

Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD) 
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая) 
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция 

Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD) 
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая) 
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция 

Свернуть
Свернуть
Свернуть

ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены

Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.

тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru

Карта сайта