+7 (495) 909-89-53

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для LPCVD процессов

lpcvd_2pecvd_schemalpcvd_1

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Конструкция печей компании SVCS для процессов осаждения при пониженном давлении LPCVD сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVсFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVсFUR-RD). Серия SVсFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.

Процессы: 
- Нитрид кремния
- Низкотемпературный оксид (LTO)
- Высокотемпературный оксид (HTO)
- ТЭОС
- Поликремний
- Легированный поликремний
- Оксинитрид

Особенности

  • Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
  • Современная модульная система управления собственной разработки и производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
  • До 4 горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
  • Различные способы управления уровнем вакуума (с нагревом или без нагрева)
- Поворотный дисковый затвор– TBV
- Применение балластного азота
- Частотное управление вакуумным насосом
  • Интеграция вакуумных насосов в сотрудничестве с ведущими производителями
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Водоохлаждаемые фланцы собственного производства
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Удобная в обслуживании конструкция
  • Современная модульная система управления собственной разработки и производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
  • До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Удобная в обслуживании конструкция
Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Размер пластин 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой
Размер партии

SVaFUR-FP: 100 и более пластин  и SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)

Система нагрева

3 или 5 зонная SVaFUR-FP:до 1067мм (42") и SVaFUR-RD: до 300мм (12")
0.5°C равномерность температуры по длине

Температура процессов 200°C до 1300°C
Энергопотребление 

80кВт – 150кВт в зависимости от конфигурации труб, 
300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50  60 Гц, 
200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц 
(системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)

Сухой чистый воздух 70 – 110 psig (4,8 to 7,6 bar)
Водя для охлаждения

40 - 60 LPM, Выхлоп 210m³/h на трубу

Опции

лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки
Стимер для влажного окисления 

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее