+7 (495) 909-89-53

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для атмосферных процессов

diff_svcs2diff_svcs1

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия)

Конструкция атмосферных диффузионных печей компании SVCS сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVaFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVaFUR-RD). Серия SVFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.

Процессы: 
- Диффузия (загонка), высокотемпературные процессы
- Легирование из твердых, жидких и газообразных источников, например: BBr₃, B2H6, POCL₃, PH₃, BN
- Различные термические процессы: отжиг, вжигание, спекание
- Пирогенное окисление с внешней горелкой
- Влажное окисление с использованием сверхчистого пара
- Сухое окисление
- HiPOx (Окисление под повышенным давлением)
- Применение DCE (TCA) или HCl для всех процессов

Особенности

  • Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
  • Современная модульная система управления собственной разработки и производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
  • До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Удобная в обслуживании конструкция
Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Размер пластин 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой
Размер партии

SVaFUR-FP: 150 и более пластин  и SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)

Система нагрева

3 или 5 зонная SVaFUR-FP:до 1067мм (42") и SVaFUR-RD: до 300мм (12")
0.5°C равномерность температуры по длине

Температура процессов 200°C до 1300°C
Энергопотребление 

95кВт – 165кВт в зависимости от конфигурации труб, 
300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50  60 Гц, 
200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц 
(системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)

Сухой чистый воздух 70 – 110 psig (4,8 to 7,6 bar)
Водя для охлаждения

40 - 60 LPM, Выхлоп 210m³/h на трубу

Опции

лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки
Стимер для влажного окисления 

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее