+7 (495) 909-89-53

Лабораторные диффузионные печи серии PEO для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD

PE-601PEO-603peo_picture2Heating Wafer in PEO-603 rein

Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия)

Многофункциональные диффузионные печи серии РЕО - компактные, экономичные установки, способные выполнять множество технологических задач как настольного так и напольного исполнения. Все печи серии оснащены кварцевой быстросъёмной рабочей камерой цилиндрической формы, закрывающейся конической крышкой, которая смонтирована на выдвижной подпружиненной панели загрузочной дверцы. Такая конструкция позволяет достичь хорошей теплоизоляции внутреннего объёма камеры при закрытой дверце. Оси направляющих с шарикоподшипниками обеспечивают плавное закрывание печи. Во время работы печи дверца блокируется. Дверца с автоматическим открыванием / закрыванием предлагается как дополнительное оборудование. 

Многофункциональные быстродействующие печи серии PEO применяются для осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния, Si3N4, эпитаксии, LTO, термического (сухого и мокрого) окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв, термического отжига. Печи серии PEO работают в воздушной среде, вакууме, азоте и водороде. Наиболее часто используются для отверждение полиимида, получения сплавов SiAu, SiAl, SiMo, прокаливание диэлектриков, пластин после ионной имплантации, нанесение контактов на пластины в среде азота / паров уксусной кислоты, металлизация без флюса, вжигание толстых плёнок, спекание стекла.

Особенности

  • Термическая обработка пластин диаметром до 300 мм
  • Температура до 1150 оС
  • Ваакуум до 5х10-6 mBar
  • Современная модульная система управления собственной разработки и производства
  • Использование высококачественных компонентов обеспечивает бесперебойную работу и долговечность предлагаемого оборудования
  • 1 термический канал со сменными кварцевими реакторами или лайнерами для различных процессов
  • Идеальное решение для НИОКР и мелкосерийного производства в условии ограниченности средств.
  • Удобная в обслуживании конструкция
Брошюра - печи серии PEO в PDF

Характеристики

Модель  PEO-601 PEO-603 PEO-612
Описание

Кварцевая камера: внутр. Ø 112 мм (4 ½ ")

Макс. загрузка: 40 пластин 100 Ø мм, керамические подложки: 40 шт. 2" x 2" или 20 шт. 4" x 4"

Макс. рабочая температура: Стандартное исполнение: 1,000°C, 1,150°C, продолжительная работа, при необходимости возможна более высокая

Нагревание: 6 нагревательных элементов, керамические оси, в проволочной обмотке из сплава, Kanthal®, каждый 1 kW, 2 зоны, легко заменить

Вакуум: макс. 1 x 10 –2 mbar

Электропитание Стандарт: 3 фазы, 400 VAC, 5 проводов, нейтраль, земля, 16 A, макс. 7 kW По заказу: другое

Потребляемая мощность при 1,000°C: < 20%

Габариты: 710 x 650 x 460 мм (28"W x 25"H x 18"D)

Масса: прибл. 45 кг (100 фунтов)

Кварцевая камера: внутр. Ø 230 мм (9")

Макс. загрузка: 60 пластин 200 мм Ø, керамические подложки: 400 шт. 2" x 2" или 120 шт. 4" x 4", большие размеры соответственно

Стандартный диапазон температур: 1,000°C, продолжительная работа Макс. температура: 1,150°C, продолжительная работа, при необходимости возможна более высокая

Нагревание: 12 нагревательных элементов, керамические оси в проволочной обмотке из сплава Kanthal®, каждый 1,6 kW, 3 зоны, плюс два дисковых нагревателя – на дверце и в заднем торце камеры Вакуум: макс. 5 x 10 6 mbar

Электропитание Стандарт: 3 фазы, 400 VAC, 5 проводов, нейтраль, земля, 32 A, макс. 22 kW По заказу: другое

Потребляемая мощность при 1,000°C: < 20%

Габариты: 1,000 x 710 x 800 мм (39"W x 28"H x 31"D)

Масса: прибл. 110 кг (245 фунтов)

Кварцевая камера: внутр. Ø 336 мм (13 1/4 ")

Макс. загрузка: 30 пластин 300 мм Ø, 60 пластин, 200 мм Ø, керамические подложки: количество зависит от размера

Стандартный диапазон температур: 1,000°C, продолжительная работа Макс. температура: 1,150°C, продолжительная работа, при необходимости возможна более высокая

Нагревание: 12 нагревательных элементов, керамические оси, в проволочной обмотке из сплава Kanthal®, каждый 1,6 kW, 3 зоны, быстросъёмные, плюс два дисковых нагревателя – на дверце и в заднем торце камеры

Вакуум: макс. 5 x 10 6 mbar

Электропитание Стандарт: 3 фазы, 400 VAC, 5 проводов, нейтраль, земля, 32 A, макс. 22 kW По заказу: другое

Потребляемая мощность при t 1,000°C: < 20%

Габариты: 1,200 x 850 x 900 мм (47"W x 33"H x 35"D)

Масса: прибл. 140 кг (310 фунтов)

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее