Raith VOYAGER

VOYAGER производства RAITH (Германия) – это новый прибор класса высокопроизводительных электронно-лучевых литографов, построенный на инновационной технологии Raith eWrite. 

Работа на подложках до 200 мм. 

Рекомендован в областях, связанных как с серийным производством, так и с научно-исследовательскими работами, где требуется высокая производительность и максимум пространственного разрешения. Инновационная архитектура и высокие показатели спецификации разработаны для получения точных результатов при высокой скорости экспонирования и при весьма низкой стоимости владения прибором. VOYAGER, таким образом, снижает барьер для доступа в сферу профессиональной, ориентированной на высокую производительность электронно-лучевой литографии. 

VOYAGER – первая система, в которой реализована новая технология Raith eWrite. eWrite объединяет в себе специализированную «выделенную» архитектуру электронно-лучевой колонны и паттерн-генератора, позволяющую осуществлять автоматизацию калибровок системы и высокую скорость при серийном производстве. 

Концепцию VOYAGER подчеркивает: 
- инновационная архитектура системы 
- сниженные требования к условиям эксплуатации в помещении и малое занимаемое пространство 
- производительность экспонирования более 1 см2/час 
- невысокая стоимость владения

VOYAGER разработан для обеспечения высокой скорости экспонирования с автоматизированной системой калибровки «на лету» при сохранении максимальной точности и разрешения. Это обеспечивает быстрый поток образцов от проектирования до выгрузки готового образца. Интегрированное программное обеспечение Raith NANOSUITE является интуитивно понятной платформой и предоставляет даже новым пользователям полноценный контроль всего процесса ЭЛЛ.

VOYAGER позволяет осуществлять литографирование как на образцах малых площадей, так и работу на пластинах размером вплоть до 8 дюймов.  

Архитектура VOYAGER была построена в соответствие с важными требованиями пользователей к производительности и на основе обратной связи заказчиков Raith. Благодаря smart-интеграции в окружающую среду, защитный кожух VOYAGER делает возможным работу в широком диапазоне вариации температуры окружающей среды лабораторных помещений и уровня шума. Экспонирование можно проводить с ультра-высоким, суб-10 нм разрешением при работе на пластинах вплоть до 8 дюймов. В добавок к функционалу ЭЛЛ, VOYAGER обладает режим РЭМ-изображения с высоким разрешением и разнообразными функциями метрологии и инспекции результатов.

VOYAGER предоставляет инновации как в архитектуре системы, так и в реализации приложений. Инновационные стратегии экспонирования, такие как режимы сшивки с нулевой ошибкой (traxx и periodixx) или FLEXposure (гибкие режимы направленного сканирования), самая современная электростатическая архитектура электронно-лучевой колонны и низко-шумная электроника дают отличные результаты и расширяют потенциал электронно-лучевой литографии. VOYAGER подготовлен к задачам ЭЛЛ будущего. 

Особенности

• Скорость и высокая производительность 

  Электронная оптика обеспечивает ток пучка до 40 нА. Большое поле экспонирования, 500 мкм, снижает необходимость в частых перемещениях стола и большом количестве сшивок. Паттерн-генератор 50 МГц построен в соответствии с последними стандартами в области дизайна электроники. Его высокоэффективный поток данных полностью решает проблемы применения в фотонике и оптике, где требуется оперировать большим комплексным массивом данных. VOYAGER способен экспонировать 1 см2 комплексных данных растрового массива в оттенках серого менее чем 1 час!

  • Интуитивно понятная оболочка Windows® 7

  • Автоматическая фокусировка и настройка стигматора

  • Преднастройки в один клик для высокого разрешения или высокой пропускной способности (например, элементы структур большого размера)

  • Комплексная единая оболочка Raith NANOSUITE с GDS II CAD редактором

  • Коррекция эффекта близости

  • До 500 мкм поля экспонирования с динамическими коррекциями в реальном времени

  • Самое современное поколение архитектуры электростатических дефлекторов 

  • Паттерн-генератор 50 МГц

  • Более 1 см2 / ч (при 50% заполнении)

  • Более 50 инженеров поддержки по всему миру 

  • Автоматическое переключение между режимами пропускной способности и высокого разрешения

• Экономичная стоимость владения 

  • Защитный кожух экономит затраты на микроклимат в лабораторных помещениях в течение всего жизненного цикла прибора

  • Компактность, чтобы сохранить дорогостоящее лабораторное пространство

  • Загрузка образца через стенку (split-room setup) позволяет установку системы вне пространства дорогостоящих чистых комнат

  • Встроенная функция визуализации с высоким разрешением, навигация по образцу 

  • Экономически выгодная замена катода вместо катодного узла (пушки) части колонны 

  • Гибкая схемы обслуживания и поддержки поможет сохранить стоимость владения низкой 

• Инновационные и уникальные методы экспонирования

  Стандартный режим пошагового и повторяющегося экспонирования подразумевают ошибки сшивки полей и ошибки наложения полей. Этого можно полностью избежать, выбрав уникальные методы Raith непрерывного и бесшовного экспонирования traxx и periodixx, используя разработанную Raith технологию экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при фиксированном луче (FBMS) и экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при модулированном пучке (MBMS). Качество получаемых структур и устройств, особенно в оптических и оптоэлектронных применениях, таких как: решетки большой площади, френелевские линзы, волноводы или фотонные кристаллы, - может быть значительно улучшено.

• Экспонирование сложных форм и сверхмалых наноструктур может требовать специфических стратегий для оптимальной точности и расположения рисунка. Режимы Raith FLEXposure направленного сканирования помогают оптимизировать и значительно улучшить воспроизводимость запроектированных форм, особенно в отношении к нанометровым величинам производственных допусков.  

• Основные применения

  - Высокая скорость прямого экспонирования (direct write) 
  - Дифракционные оптические элементы 
  - Оптические структуры для элементов защиты от подделок 
  - Серийное производство полупроводниковых приборов