+7 (495) 909-89-53

Очистка пластин и фотошаблонов

Установки очистки пластин и фотошаблонов SWC-3000

Настольная установка SWC-3000 произвосдтва NANO-MASTER Inc. (США).

Очистка фотошаблонов или пластины без повреждений, ультразвуковая очистка и вращающаяся сушка
Подложки: до 12 дюймов - круглые, до 9х9 дюймов - квадратные подложки
Микропроцессор для управления
ИК лампа для сушки

Установки очистки пластин и фотошаблонов SWC-4000

Напольная установка SWC-4000 произвосдтва NANO-MASTER Inc. (США).

Отдельно стоящая установка
защита от повреждений, очистка щеткой, ультразвуковая, химическая и вращающаяся сушка
Пластины до 12 дюймов - круглые, 9х9 дюймов - квадратные подложки
Микропроцессор для управления
Подача деионизованной воды под высоким давлением
Очистка озоном
Модуль распределения химикатов
Отдельная труба для кислот и растворителей
Нагретый азот
Удаление пелликлов

Установки очистки пластин и фотошаблонов LSC-4000

Напольная установка LSC-4000 произвосдтва NANO-MASTER Inc. (США).

Отдельно стоящая установка
Защита от повреждений, очистка щеткой, ультразвуковая, химическая и вращающаяся сушка
Пластины до 21 дюйма - круглые, 15х15 дюймов - квадратные подложки
Микропроцессор для управления
Подача горячей дианизованной воды высокого давления DI или Piranha
Очистка озоном
Модуль распределения химикатов
Отдельная труба для кислот и растворителей
Нагретый азот
Удаление пелликлов

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее