+7 (495) 909-89-53

Установки очистки пластин и фотошаблонов LSC-4000

NozzlesLight

Настольная установка LSC-4000 произвосдтва NANO-MASTER Inc. (США).

Отдельно стоящая установка
большая камера искусственного климата
максимум с тремя рычагами для:
-ультразвука
-щетки
-горячей дианизованной воды высокого давления DI или Piranha
ПК-контроля через программное обеспечение Lab View
совмещения с роботизированной загрузкой-выгрузкой (Robotic load unload)
защита от повреждений, очистка щеткой, ультразвуковая, химическая и вращающаяся сушка
12 дюймов - круглые, 9 дюймов - квадратные подложки
Очистка озоном
Модуль распределения химикатов
Отдельная труба для кислот и растворителей
Нагретый азот

Установка позволяет производить ультразвуковую очистку и сушку пластин диаметром до 21″, стеклянных подложек (фотошаблонов) размером до 15x15″. Микропроцессорное управление, контроль и управление системой производится посредством сенсорного дисплея. Загрузка и выгрузка обрабатываемых изделий производится вручную.

Возможность пользовательского задания циклов отмывки с опцией CDU:
1-й цикл - распыление химии (1-й этап)
2-й цикл-  щеточная чистка,
3-й цикл - распыление химии (2-й этап),
4-й цикл - ультразвуковая очистка деионизованной водой),
5-й цикл - сушка газообразным азотом с нанесением IPA и/или инфракрасная сушка.

Применение LSC-4000:

Применение LSC
очистка пластин или подложек с нанесенным
или не нанесенным структурными элементами
очистка разделенных пластин на подложке
очистка покрытия ITO дисплея
очистка заготовки фотошаблона со слоем фоторезиста
очистка фотошаблона с покрытием

Опции
фотошаблон или пластина
очистка щеткой
озонированная дианизованная вода (мг/м3)
горячая DI
высокое давление DI
гидрогенная DI
Piranha
автоматическая загрузка-выгрузка
HEPA мини-оборудование фильтрования 

Дополнительные отдельно стоящие модули
модуль подачи химикатов
озоновый генератор
гидрированный генератор дианизованной воды
DI модуль высокого давления
модуль смешивания серной кислоты и перекиси водорода
роботизированный модуль загрузки-разгрузки

Скачать брошюру на русском в PDFСкачать брошюру LSC-4000 на русском в PDFСкачать брошюру общую в PDF

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее