+7 (495) 909-89-53

Планаризация и ХМП

Установка химико-механической планаризации E400 E

Лабораторная установка химико-механической планаризации модели E400 E производства Alpsitec (Франция).
Установка химико-механической планаризации модели E400 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в  НИОКР, мелко-серийно производстве и опытном производстве. 

Размер обрабатываемых пластин: от кусочков до 4" (100 мм)
Диаметр полировальника 400 мм
Программирование до 10 шагов в одном рецепте.
Процессы: ХМП, планаризация

Установка химико-механической планаризации E460 E

Установка химико-механической планаризации модели E460 E производства Alpsitec (Франция).
Установка химико-механической планаризации модели E460 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в  НИОКР, мелко-серийно производстве и опытном производстве. 

Размер обрабатываемых пластин: от кусочков до 8" (200 мм)
Диаметр полировальника 460 мм или 480 мм (615 мм - опция)
Программирование до 10 шагов в одном рецепте.
Процессы: ХМП, планаризация

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее