+7 (495) 909-89-53

Установка химико-механической планаризации E400 E

Установка химико-механической планаризации модели E400 E производства Alpsitec (Франция).

Установка химико-механической планаризации модели E400 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в  НИОКР, мелко-серийно производстве и опытном производстве. 
Установка позволяет обрабатывать как стандартные пластины диаметром 2",3",4", так и кусочки различной формы 10х10 мм2 или др. 
Установка имеет возможность устанавливать до 10 шагов одного процесса с установкой своих уникальных параметров процесса для каждого из шагов. Установка имеет ручную загрузку пластин с автоматическим управлением процессом полировки.
Стандартные держатели для пластин используют вакуум для крепления, но также доступны и крепелние пластин на воск или на специальном шаблоне.
Также компания готова изготовить специальный держатель по требования заказчика.

Особенности

  • Компактное настольное исполнение
  • Размеры пластин от кусочков до 4" (100 мм)

  • Диаметр полировальника 400
  • до 10 шагов в процессе

  • Полировальники и оснастка для крепления щеток, алмазных дисков или кругов

  • Различные процессы с различными расходниками (супензии и полировальники) в одной машине

  • Контроль процесса и его параметров: расход суспензии (до 2 суспензий), скорость вращения полировальника, давление прижима, время процесса и др.Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Размеры (Ш х Г х В), мм 850 х 920 х 740
Вес, кг. 126 кг.
Размер пластин от кусочков до 4" (100 мм)
Занимаемая площадь, м2 0,76
Электропитание 220 В, 1 фаза, 50-60 Гц.
Сжатый воздух 6-7 Бар (5 Бар минимально)
Вода 1 Бар
Мощность  около 2,5 кВт
Потребление 40 литвов воды в час
сжатый воздух 80 литров с мин.
Мощность до 1 кВт
вакуум

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее