Установка химико-механической планаризации модели E400 E производства Alpsitec (Франция).
Установка химико-механической планаризации модели E400 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в НИОКР, мелко-серийно производстве и опытном производстве.
Установка позволяет обрабатывать как стандартные пластины диаметром 2",3",4", так и кусочки различной формы 10х10 мм2 или др.
Установка имеет возможность устанавливать до 10 шагов одного процесса с установкой своих уникальных параметров процесса для каждого из шагов. Установка имеет ручную загрузку пластин с автоматическим управлением процессом полировки.
Стандартные держатели для пластин используют вакуум для крепления, но также доступны и крепелние пластин на воск или на специальном шаблоне.
Также компания готова изготовить специальный держатель по требования заказчика.
Размеры пластин от кусочков до 4" (100 мм)
до 10 шагов в процессе
Полировальники и оснастка для крепления щеток, алмазных дисков или кругов
Различные процессы с различными расходниками (супензии и полировальники) в одной машине
Размеры (Ш х Г х В), мм | 850 х 920 х 740 | |||||
Вес, кг. | 126 кг. | |||||
Размер пластин | от кусочков до 4" (100 мм) | |||||
Занимаемая площадь, м2 | 0,76 | |||||
Электропитание | 220 В, 1 фаза, 50-60 Гц. | |||||
Сжатый воздух | 6-7 Бар (5 Бар минимально) | |||||
Вода | 1 Бар | |||||
Мощность | около 2,5 кВт | |||||
Потребление | 40 литвов воды в час сжатый воздух 80 литров с мин. Мощность до 1 кВт вакуум |
Установка химико-механической планаризации модели E460 E производства Alpsitec (Франция).
Установка химико-механической планаризации модели E460 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в НИОКР, мелко-серийно производстве и опытном производстве.
Размер обрабатываемых пластин: от кусочков до 8" (200 мм)
Диаметр полировальника 460 мм или 480 мм (615 мм - опция)
Программирование до 10 шагов в одном рецепте.
Процессы: ХМП, планаризация
Установка химико-механической планаризации модели E460 E производства Alpsitec (Франция).
Установка химико-механической планаризации модели E460 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в НИОКР, мелко-серийно производстве и опытном производстве.
Размер обрабатываемых пластин: от кусочков до 8" (200 мм)
Диаметр полировальника 460 мм или 480 мм (615 мм - опция)
Программирование до 10 шагов в одном рецепте.
Процессы: ХМП, планаризация