+7 (495) 909-89-53

Установка плазменной очистки Tetra 30 / Tetra 100 / Tetra 150

Tetra_30Tetra_30_PC (1)Tetra_100Tetra_100_PCTetra_150Tetra_150_PCpcce_main_encontrol_pc.gif

Установка плазменной очистки низкого давления модели Tetra 30 / Tetra 100 / Tetra 150 производства Diener electronic (Германия).

Применение: очистка, активация, травление (серийные процессы), создание гидрофобных и гидрофильных покрытий, карбонизация, снятие и подчистка фоторезста

мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков

Особенности

  • Камера: цилиндрическая или прямоугольная, 30 / 100 / 150 литров

  • Вакуумный насос на выбор

  • Датчик давления 
  • Ганератор 40 кГц, до 2500 Вт или 13,56 МГц, до 600 Вт или 2,45 ГГц, до 1200 Вт.

  • Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)

  • Газовые линии - до 3 шт. (MFC)

  • Газовые линии - до 3 шт. (игольчатые глапана или MFC)

Скачать брошюру Tetra 30 в PDF
Скачать брошюру Tetra 100 в PDF
Скачать брошюру Tetra 150 в PDF

Характеристики

Тип установки плазма низкого давления
Вакуумная камера Tetra 30
прямоугольная, около 30 литров: ШхВхГ: 305 х 300 х 370 иди 625 мм
Tetra 100
прямоугольная, около 100 литров: ШхВхГ: 400 х 400 х 625 мм
Tetra 150
прямоугольная, около 150 литров: ШхВхГ: 400 х 600 х 625 мм
Материал камеры нержавеющая сталь
Подвод газа до 3-х газовых линий MFC
Генератор плазмы 40 кГц, до 2500 Вт
13,56 МГц, до 600 Вт
2,45 ГГц, до 1200 Вт
Контроль PCCE-Control (Microsoft Windows CE) - PLC
PC-Control (Microsoft Windows XPe) - PC
Производительность вакуумного насоса
сухой насос или лопастной по выбору
Подключение 220 В, 50 Гц или 400В, 3 фазы (в зависимости от конфигурации)

Видеопрезентация установки Tetra


Видеопрезентация фирмы Diener



Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее