+7 (495) 909-89-53

Установка AS-Micro для быстрых термических процессов (RTP)

ASMicro_Twin

Система AS-Micro производства ANNEALSYS (Франция) для быстрых термических процессов (RTP) для использования пластин диаметром до 3 дюймов для использования в лабораториях. Версия с двумя камерами для перекрестного загрязнения (cross contamination).

Применение:
Быстрый термический отжиг (RTA)
Быстрое термическое окисление (RTO)
Послеимплантационный отжиг
Отжиг соединений полупроводников
Кристализация и Загустевание
Сульфиризация и Селенизация и др.

Особенности

  • Размер подложек от кусочков до 3 дюймов (76 мм) в диаметре
  • Опционально трехдюймовый держатель для образцов диаметром 2 дюйма
  • Термопроцессор для быстрой термической обработки 3-дюймовых пластин
  • Компактная конфигурация для настольного расположения
  • Узкоспециализированные и исследовательские задачи применения
  • Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали
  • Цилиндрические инфракрасные галогеновые лампы печи
  • Очень быстрая скорость нагрева
  • Дверь с горизонтальным движением с кварцевым лотком для легкой загрузки/выгрузки пластин и установки термопар
  • Возможно установка двух реакторов на одной стойке
Скачать брощюру в PDF
Скачать презентацию в PDF

Характеристики

Температурный диапазон от комнатной (RT) до 1250°C
Скорость нагрева до 250°C/сек. на двухдюймовой (2") кремниевой подложке и 200°C/сек на трехдюймовой (3") подложк
Газовая система Возможность смешивать процессные газы, Контроллеры массового расхода газа
Вакуум от атм. (н.у.) до 10-2 Торр (10-6 Торр по запросу с турбомолекулярным насосом - опция)
Контроль температуры измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур
Управление система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows
Опции пиромерт

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее