+7 (495) 909-89-53

Установка AS-One для быстрых термических процессов (RTP)

AS-One 010

Система AS-One производства ANNEALSYS (Франция) для быстрых термических процессов с холодными стенками в исполнении для пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм) и до 6 дюймов (150 мм).

Применение:
Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing)
Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
CVD графена
CVD углеродных нанотрубок
Диффузия, отжигконтактов
Послеимплантационный отжиг
Отжиг соединений полупроводников
Нитридизация, Силицидирование, Сульфиризация и Селенизация
Кристализация и Загустевание и др.

Особенности

  • Быстрая термическая обработка пластин диаметром 4" и 6"
  • Компактная напольная конфигурация для экономии места
  • Высокая надежность и низкая стоимость владения
  • Технология холодных стенок из нержавеющей стали
  • Высокая воспроизводимость процесса
  • Ультра чистая среда и отсутствие загрязнений
  • Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти
  • Высоковакуумная версия (10-6 Торр) доступна
  • Пирометр и термопара для контроля температуры
  • Быстрый цифровой контроллер температуры PID
  • До 5-ти газовых линий
Скачать брощюру в PDF
Скачать презентацию в PDF

Характеристики

Температурный диапазон

от комнатной (RT) до 1450°C (в зависимости от версии)

Скорость нагрева Скорость нагрева до 200°C/сек или до 50°C/сек с графитовым держателем
Скрорость охлаждения 50°C/сек в стандартном исполнении и до 100°C/сек со специальным оборудованием (опция)
Газовая система Возможность смешивать процессные газы, Контроллеры массового расхода газа
Вакуум от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом (опция)
Контроль температуры измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур
Управление система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows
Опции Низкотемпературный или высокотемпературный пиромерт

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее