+7 (495) 909-89-53

Нанесение, проявление и сушка фоторезиста

Центрифуга для нанесения фоторезиста или сушки - SPIN-1200T

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)

 

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)

 

Уже установлено в России и СНГ: 75 шт
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-3000D

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм

 

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм

 

Уже установлено в России и СНГ: 7 шт
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-3000A

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор

 

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор

 

Уже установлено в России и СНГ: 6 шт
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-4000A

Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор

 

Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор

 

Уже установлено в России и СНГ: 9 шт
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-5000A

Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор

 

Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор

 

MINILAB - литографическая мини лаборатория

MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)

 

MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)

 

Уже установлено в России и СНГ: 1 шт
Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC1000

Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)

 

Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)

 

Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC4000L

Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)

 

Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)

 

Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC6000

Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)

 

Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)

 

Термостолик для сушки фоторезиста ND-1

Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC

Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC

Уже установлено в России и СНГ: 6 шт
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста MSX 1000

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).

Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.

 

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).

Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.

 

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста серии DAVID

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).

Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.

 

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).

Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.

 

Для нанесения фоторезиста на пластину наиболее оптимальным является метод центрифугирования. Пластина вращается со скоростью от 10 до 10000 оборотов в минуту (в зависимости от модели), на нее наносится резист и в течении 10-30 секунд формируется пленка. Пленка получается однородной толщины поэтому данный метод является наиболее популярным в настоящее время.

Для нанесения фоторезиста, проявления и сушки отлично подойдут центрифуги MIDAS SYSTEM серии SPIN. Они позволяют получить равномерную пленку фоторезиста, при скорости вращения от 10 до 10000 оборотов в минуту. Особенностью производства MIDAS SYSTEM является эргономичный дизайн, простота установки, удобство создания рецепта и небольшая занимаемая площадь.