+7 (495) 909-89-53

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-5000A

Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм

Особенности

  • Размер подложек от 5х5 мм до 300 мм в диаметре или 500х500 мм.
  • Программатор - дисплей (touch screen) для программировования и создания рецептов
  • Ручное или автоматическое дозирование фоторезиста
  • Эргономичный дизайн и малая занимаемая площадь
  • Сухой вакуумный насос в комплекте
  • Держатели подложек с вакуумным или механическим прижимом
  • Легкая и простая установка
  • Чаша из нержавеющей стали
  • Легкая и простая замена держателей
  • Наличие слива

Характеристики

Размер подложки от 5х5 мм до 300 мм в диаметре или до 500х500 мм, вес до 25 кг.
Скорость вращения от 300 до 5000 об/мин +/-3% для не загруженного держателя
Ускорение Ускорение и скорость задается оператором
Управление Программатор, 20 рецептов, 20 шагов
Автодиспенсер до трех линий автомтической подачи реагентов (резиста, проявителя, DI)
Мотор AC сервомотор
Корпус Нержавеющая сталь
Вакуумный прижим Анодированный алюминий
Электропитание 220 В, 5А,  50 Гц.
Размеры  650 х 945 х 1200 мм.
Слив сливные отверстия в чаше

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее