+7 (495) 909-89-53

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-5000A

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-5000A фото

Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм

Особенности

  • Размер подложек от 5х5 мм до 300 мм в диаметре или 500х500 мм.
  • Программатор - дисплей (touch screen) для программировования и создания рецептов
  • Ручное или автоматическое дозирование фоторезиста
  • Возможность установки EBR (Edge Bead Removal) модуля удаления валика на краю пластины
  • Эргономичный дизайн и малая занимаемая площадь
  • Сухой вакуумный насос в комплекте
  • Держатели подложек с вакуумным или механическим прижимом
  • Легкая и простая установка
  • Чаша из нержавеющей стали
  • Легкая и простая замена держателей
  • Наличие слива

Характеристики

Размер подложки от 5х5 мм до 300 мм в диаметре или до 500х500 мм, вес до 25 кг.
Скорость вращения от 300 до 5000 об/мин +/-3% для не загруженного держателя
Ускорение Ускорение и скорость задается оператором
Управление Программатор, 20 рецептов, 20 шагов
Автодиспенсер до трех линий автомтической подачи реагентов (резиста, проявителя, DI)
Мотор AC сервомотор
Корпус Нержавеющая сталь
Вакуумный прижим Анодированный алюминий
Электропитание 220 В, 5А,  50 Гц.
Размеры  650 х 945 х 1200 мм.
Слив сливные отверстия в чаше


Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-5000A

Также Вас может заинтересовать
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-3000A

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор

 

Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор

 

Уже установлено в России и СНГ: 6 шт
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-4000A

Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор

 

Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор

 

Уже установлено в России и СНГ: 9 шт
Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC1000

Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)

 

Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)