+7 (495) 909-89-53

Нанесения фоторезиста спреем MSC-150A

Установка нанесения фоторезиста спреем модели MSC-150 производства MIDAS SYSTEM (Корея)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 150х150 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 1200х1000х1600 мм

Особенности

  • Размер подложек от 5х5 мм до 150х150 мм.
  • Программатор - дисплей (touch screen) и PLC для программировования и создания рецептов
  • Автоматическое дозирование фоторезиста из канистры
  • Эргономичный дизайн и малая занимаемая площадь
  • Сопла для подачи фоторезиста под давлением
  • Канистра из нержавеющей стали для фоторезиста
  • Сухой вакуумный насос в комплекте
  • Держатели подложек с вакуумным прижимом
  • Легкая и простая установка
  • Камера для обработки 300×300×150 мм из PVC
  • Наличие слива
Скачать брошюру MSC-150 в PDF

Характеристики

Размер подложки от 5х5 мм до 150x150 мм
Перемещение дозатора по осям XYZ X- 200 мм 
Y - 200 мм 
Z - 100 мм
Максимальная скорость перемещения дозатора 400 мм/сек
Управление Программатор, PLC контроль с touch screen дисплеем.
Автодиспенсер и сопло дозатора сопло диаметром 0,4 мм (другие по запросу)
Подача фоторезиста Насос для подачи фоторезиста 
Корпус Нержавеющая сталь
Вакуумный прижим Анодированный алюминий
Электропитание 220 В, 20А,  50 Гц.
Размеры  1200 х 1000 х 1600 мм.
Слив сливные отверстия 200 мм

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее