+7 (495) 909-89-53

Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC1000

Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000

Настольная установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Вес: 150 кг.
UEC (Ultrasonic Electronic Coater)

Применение

  • Энергетика (energy)
  • Микроэлектроника и полупроводники (microelectronic and semiconductor)
  • Медицина (medical)
  • Наноматериалы (nanomaterial)

Особенности

  • Размер подложек от 5х5 мм до 200х200 мм.
  • Программатор - дисплей (touch screen) и PLC для программировования и создания рецептов (до 1000 шт.)
  • Автоматическое дозирование фоторезиста (50 ml шприцевое дозирование)
  • Эргономичный дизайн и малая занимаемая площадь
  • Сопла для ультразвуковой подачи фоторезиста (ширина нанесения 10-80 мм)
  • Ультразвуковой генератор 120 кГц
  • Нагревательная плита (контактный нагрев) до 100 оС из алюминия
  • Лазерное позиционирование
  • Легкая и простая установка
  • Электропитание: 220-240В, 50/60 Гц
Скачать брошюру UEC1000 в PDF

Характеристики

Размер подложки от 5х5 мм до 200x200 мм
Перемещение дозатора по осям XYZ X- 200 мм 
Y - 200 мм 
Z - NA
Управление Программатор, PLC контроль с 7" touch screen дисплеем.
Автодиспенсер и сопло дозатора сопло (ширина нанесения 10-80 мм)
Подача фоторезиста УЗ генератор 120 кГц 
Корпус Нержавеющая сталь
Столик Анодированный алюминий
Вакуумный прижим нет.
Электропитание 220 В, 50 Гц.
Размеры  650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)




Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC1000

Также Вас может заинтересовать
Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-4000A

Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор

 

Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов. 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор

 

Уже установлено в России и СНГ: 9 шт
Термостолик для сушки фоторезиста ND-1

Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC

Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония)
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC

Уже установлено в России и СНГ: 6 шт
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста серии DAVID

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).

Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.

 

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).

Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.