+7 (495) 909-89-53

Кластерные установка напыления NEBULA

вакуумное напыление оборудование фото Nebula-clusternebula-cluster-web

Кластерные вакуумные установки NEBULA производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - соединение всех технологий Angstrom Engineering в одном кластере. Имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом, кассетной станцией и камерами для различных процессов в зависимости от задач заказчика.

Вершина автоматизации, инженерной точности, управления пользователями и сотрудничества с вами, нашим партнером. Эти интегрированные вакуумные системы разработаны специально для удовлетворения требований наших клиентов. Количество и тип вакуумных модулей выбираются заказчиком и предоставляют возможности для будущего расширения.

  • Может оснащаться перчаточным боксом.
  • Кассетаная станция (до 25 пластин в кассете)
  • Вакуумные загрузочный шлюз
  • Пластины до 200х200 мм, круглые подложки и др.
  • Процессы: PVD, LPCVD, ALD, RIE or ICP-RIE, PECVD or ICPECVD

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Атомно-слоевое осаждение (ALD)
Плазменное травление (RIE, ICP-RIE)
Плазменное осаждение (PECVD, ICPECVD)

Особенности

  • Возможность обрабатывать на пластины до 200x200 мм (или других размеров или диаметров) с заданием различной скорости вращения держателя
  • Продвинутая система управления на базе ПК.

  • Камеры из алюминия или нержавеющей стали (опция).
  • Оснащение кассетными станциями с загрузком до 25 пластин в кассету.
  • Робот SCARA для транспортировки плвастин из камеры в камеру
  • Подготовка (очистка) палстин перед процессом с ионными источниками
  • Длинная дистанция между источниками и подложкой.

  • Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
  • Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

  • Поддержка нескольких разных процессов.
  • Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
  • Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.
  • Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
  • Контроль вакуума и вакуумная система:

    - Автоматический форвакуумный насос

    - Сухие насосы (опция)

    - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

    - Пневматически воздушный фильтр

  • Управление процессом осаждения:

    - теневая маска и выравнивание подложки

    - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

    - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

    - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

    - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль

    - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

    - Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку

    - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)

Скачать брошюру в PDF

Видеопрезентация компании Angstrom Engineering

Видеопрезентация NEBULA

Видеопрезентация GLAD держатель


Видеопрезентация - кассетная станция

Видеопрезентация - улучшение однородности напыления

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Кластерные установка напыления NEBULA

Также Вас может заинтересовать
Установка ионно-лучевого распыления Reticle (IBSD)

Вакуумная установка ионно-лучевого распыления Reticle (IBSD) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - идеальное решение для распыления оптических покрытий очень высокого качества.

Пластины диаметром до 200 мм.

Процессы:
IBSD (Ion beam sputter deposition)

Вакуумная установка ионно-лучевого распыления Reticle (IBSD) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - идеальное решение для распыления оптических покрытий очень высокого качества.

Пластины диаметром до 200 мм.

Процессы:
IBSD (Ion beam sputter deposition)

Уже установлено в России и СНГ: 1 шт
Установка напыления Amod

Вакуумная установка Amod производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства.
Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.
Пластины диаметром до 300 мм или 3 х 100 мм, до 150х150 мм.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Вакуумная установка Amod производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства.
Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.
Пластины диаметром до 300 мм или 3 х 100 мм, до 150х150 мм.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Уже установлено в России и СНГ: 6 шт
Установка магнетронного распыления линейного типа (Linear sputter system)

Вакуумные установки магнетронного распыления линейного типа Linear Sputter System производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установки для серийного производства и напыления на пластины или шаблоны (Al, Ni, Cr, V, Ti, Cu и др.). Установки заменят выходящие из строя старые установки МАГНА-2М или Оратория 29 и т.п. 

Загрузка из кассеты в кассету
до 3-х прямоугольных магнетронов
Ионный источник для очистки
Нагрев 
кварцевый контроль (QCM)

Процессы:
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)

Вакуумные установки магнетронного распыления линейного типа Linear Sputter System производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установки для серийного производства и напыления на пластины или шаблоны (Al, Ni, Cr, V, Ti, Cu и др.). Установки заменят выходящие из строя старые установки МАГНА-2М или Оратория 29 и т.п. 

Загрузка из кассеты в кассету
до 3-х прямоугольных магнетронов
Ионный источник для очистки
Нагрев 
кварцевый контроль (QCM)

Процессы:
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)