Вакуумные установки магнетронного распыления линейного типа Linear Sputter System производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установки для серийного производства и напыления на пластины или шаблоны (Al, Ni, Cr, V, Ti, Cu и др.). Установки заменят выходящие из строя старые установки МАГНА-2М или Оратория 29 и т.п.
Эта серия систем обеспечивает высокую пропускную способность производства на крупных подложках, могут быть легко интегрированы в более крупные кластеры производственных инструментов, а также обеспечивает впечатляющую однородность.
Создание устройств на очень больших подложках, напыление нескольких слоев за один проход с большой однородностью. Высокая эффективноть использоваиня мишеней.
Процессы:
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
Вакуумная установка EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -одна из самых больших из серии установок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.
Может оснащаться перчаточным боксом.
Пластины диаметром до 300 мм или 3 х 100 мм, до 150х150 мм.
Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation)
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Вакуумная установка EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -одна из самых больших из серии установок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.
Может оснащаться перчаточным боксом.
Пластины диаметром до 300 мм или 3 х 100 мм, до 150х150 мм.
Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation)
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Вакуумные становки серии Quantum для изготовления Джозефсоновских переходов (Josephson junction) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Angstrom Engineering Inc. разработал серию платформ, которые предоставляют пионерам аппаратного обеспечения квантовых вычислений средства для надежного и уверенного создания сверхпроводящих схем в автоматизированной среде с высокой повторяемостью.
Процессы:
изготовление Джозефсоновских переходов (Josephson junction)
Вакуумные становки серии Quantum для изготовления Джозефсоновских переходов (Josephson junction) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Angstrom Engineering Inc. разработал серию платформ, которые предоставляют пионерам аппаратного обеспечения квантовых вычислений средства для надежного и уверенного создания сверхпроводящих схем в автоматизированной среде с высокой повторяемостью.
Процессы:
изготовление Джозефсоновских переходов (Josephson junction)
Вакуумная установка NexDep производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - гибкий дизайн и компактное исполнение для различных применений. Система может быть сконструирована согласно требованиям заказчика.
Пластины диаметром до 200 мм или до 100х100 мм.
Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation)
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Вакуумная установка NexDep производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - гибкий дизайн и компактное исполнение для различных применений. Система может быть сконструирована согласно требованиям заказчика.
Пластины диаметром до 200 мм или до 100х100 мм.
Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation)
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
