+7 (495) 909-89-53

Установка напыления EvoVac

angstromevovac-1angstromevovac-2angstromevovac-3angstromevovac-4angstromevovac-5angstromevovac-6angstromglovebox-1angstromglovebox-2angstromglovebox-3angstromglovebox-4angstromglovebox-5angstromglovebox-6800_5279Standard-EvovacEvoVac---Manual-transferEvovac-2Polished-Evovac

Вакуумная установка EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -одна из самых больших из серии установок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.

С расширением популярности линейки установок Åmod система EvoVac самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   
Вакуумный загрузочный шлюз

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Особенности

  • Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя
  • Продвинутая система управления на базе ПК.

  • Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
  • Длинная дистанция между источниками и подложкой.

  • Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
  • Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

  • Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.
  • 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.

  • 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)
  • Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

  • Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.
  • Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).

  • Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
  • Контроль вакуума и вакуумная система:

    - Автоматический форвакуумный насос

    - Сухие насосы (опция)

    - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

    - Пневматически воздушный фильтр

  • Управление процессом осаждения:

    - теневая маска и выравнивание подложки

    - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

    - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

    - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

    - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль

    - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

    - Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку

    - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)

Скачать брошюру в PDF

Видеопрезентация компании Angstrom Engineering

Видеопрезентация GLAD держатель

Видеопрезентация - кассетная станция

Видеопрезентация - улучшение однородности напыления

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее