+7 (495) 909-89-53

Стилусный профилометр Alpha-Step D-600

Стилусный профилометр Alpha-Step® D-600 производства KLA-Tencor (США) предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.

Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-600 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах.

D-600 имеет 200-миллиметровый рабочий столик с перемещением по X-Y в пределах 150х178 мм. Новое программное обеспечение дает возможность задать последовательно ручное выравнивание и до 1000 местоположений на образце. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.

Применение: 
Точный шаг высоты
Исследования текстуры поверхности
Напряжения в тонких пленках
Исследование биологических объектов
Микроэлектромеханические системы (MEMS)
Форма и наклон поверхности
Характеризация материалов
Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности
Исследование шероховатости и дефектности поверхности
3D измерения (сканирование)

Особенности

  • Стилусный профилометр D-600 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства.

  • Рабочий столик на 200 мм обеспечивает длину сканирования до 55 мм без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей, и до 200 мм при использовании функции сшивания. D-600 предоставляет самый высокий вертикальный диапазон измерений до 1200 мкм и технологию сенсора низкого усилия до 0.03 мг, это гарантирует точность сканирование для множества приложений, включая тонкие пленки, мягкие материалы, высокие шаги высот, изгиб и напряжение.
  • D-600 имеет передовую оптику, которая включает 5 МП камеру высокого разрешения с 4x цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
  • Сверхвысокоточное изготовление оптического датчика уровня обеспечивает его конструкции высокую безинерционность и самые низкие шумы. Результатом этого является повторяемость измерений высоты шага на уровне 5 Å для 1 мкм шага высоты.
  • Упрощенное создание рецептов позволяет быстро установить параметры 3D сканирования, упорядоченных для множественных сканирований и измерений, ориентировать точки привязки выравнивания и автоматически сшивать при измерениях напряженности в пленках. Рецепт и системные средства управления отображают в одном окне расположение образца и текущее измерение. Сохранение исходных данных позволяет производить пересчет без повторных измерений.
  • Новое программное обеспечение корректировки трапецеидального искажения автоматически удаляет типовые искажение вносимые угловой оптикой.
  • Специальное программное обеспечение удаляет ошибку движения по дуге во время сканирования, улучшая точность измерений углов боковой стенки и ширины шага.
  • 3D сканирование воспроизводит фото-реалистические поверхности, позволяя провести подробный анализ образца: высоты шага, текстуры и формы. Опция 2D напряжения использует Уравнение Стони и изменения изгиба образца перед и после обработки для вычисления напряжения в тонкой пленке. Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Столик  200 мм
Длина сканирования (хода стилуса) до 55 мм без сшивки
до 200 мм с применением сшивки 
Вертикальный диапазон измерения

 до 1200 мкм

Повторяемость 5Å при измерении ступени 1 мкм

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Стилусный профилометр Alpha-Step D-600

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее