+7 (495) 909-89-53

Скрубберы (нейтрализация отходящих газов)

Cухая нейтрализация технологических отходящих газов CLEANSORB

Скрубберы с сухой засыпкой (гранулы) CLEANSORB для нейтрализации отходящих газов при проведении процессов: плазменного травления, ионной имплантации, PECVD, LPCVD процессов, плазменной очистки камер, эпитаксии, изготовление фотоэлементов и газоснабжении.

Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании рассчитаны на бессрочную эксплуатацию и пригодны для повторного использования.

Скрубберы с сухой засыпкой (гранулы) CLEANSORB для нейтрализации отходящих газов при проведении процессов: плазменного травления, ионной имплантации, PECVD, LPCVD процессов, плазменной очистки камер, эпитаксии, изготовление фотоэлементов и газоснабжении.

Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании рассчитаны на бессрочную эксплуатацию и пригодны для повторного использования.

Предохранительное устройство от утечки газах CLEAN-PROTECT

Устройство CLEAN-PROTECT предназначено для поглощения токсичных или других опасных газов при аварийном выбросе газа. Данное предохранительное устройство обеспечивает защиту от неконтролируемого выброса токсичных, агрессивных или самовоспламеняющихся газов из одного или нескольких газораспределительных устройств системы газоснабжения, таким образом обеспечивая защиту производственных помещений и прилегающей к заводу местности.

Устройство CLEAN-PROTECT предназначено для поглощения токсичных или других опасных газов при аварийном выбросе газа. Данное предохранительное устройство обеспечивает защиту от неконтролируемого выброса токсичных, агрессивных или самовоспламеняющихся газов из одного или нескольких газораспределительных устройств системы газоснабжения, таким образом обеспечивая защиту производственных помещений и прилегающей к заводу местности.

Мини-картридж для вентиляционных линий газораспределительных устройств серии CLEANVENT

Перед установкой нового газового баллона в линию с газораспределительным устройством системы газоснабжения необходимо удалить технологический газ, оставшийся от предшествующего газового баллона. Это делается как в целях безопасности, так и в целях обеспечения непрерывности подачи свежего газа. Остаточный газ может оказаться высококонцентрированным токсичным, самовоспламеняющимся или агрессивным газом, что представляет собой значительную угрозу безопасности.

Перед установкой нового газового баллона в линию с газораспределительным устройством системы газоснабжения необходимо удалить технологический газ, оставшийся от предшествующего газового баллона. Это делается как в целях безопасности, так и в целях обеспечения непрерывности подачи свежего газа. Остаточный газ может оказаться высококонцентрированным токсичным, самовоспламеняющимся или агрессивным газом, что представляет собой значительную угрозу безопасности.

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее