+7 (495) 909-89-53

Диффузионные печи

Лабораторные диффузионные печи серии PEO для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD

Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD) 
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая) 
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция 

Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD) 
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая) 
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция 

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для атмосферных процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.) 
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.) 
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для LPCVD процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
LPCVD осаждение (Si3N4, LTO, HTO, TEOS, PolySi, doped PolySi) 
Температурный диапазон: от RT до 1200°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Применение:
LPCVD осаждение (Si3N4, LTO, HTO, TEOS, PolySi, doped PolySi) 
Температурный диапазон: от RT до 1200°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу) 
До 4 труб на печь

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее