+7 (495) 909-89-53

Raith VOYAGER

Слайд1S32S23S22S07S2431

VOYAGER производства RAITH (Германия) – это новый прибор класса высокопроизводительных электронно-лучевых литографов, построенный на инновационной технологии Raith eWrite

Работа на подложках до 200 мм. 

Рекомендован в областях, связанных как с серийным производством, так и с научно-исследовательскими работами, где требуется высокая производительность и максимум пространственного разрешения. Инновационная архитектура и высокие показатели спецификации разработаны для получения точных результатов при высокой скорости экспонирования и при весьма низкой стоимости владения прибором. VOYAGER, таким образом, снижает барьер для доступа в сферу профессиональной, ориентированной на высокую производительность электронно-лучевой литографии. 

VOYAGER – первая система, в которой реализована новая технология Raith eWrite. eWrite объединяет в себе специализированную «выделенную» архитектуру электронно-лучевой колонны и паттерн-генератора, позволяющую осуществлять автоматизацию калибровок системы и высокую скорость при серийном производстве. 

Концепцию VOYAGER подчеркивает: 
- инновационная архитектура системы 
- сниженные требования к условиям эксплуатации в помещении и малое занимаемое пространство 
- производительность экспонирования более 1 см2/час 
- невысокая стоимость владения

VOYAGER разработан для обеспечения высокой скорости экспонирования с автоматизированной системой калибровки «на лету» при сохранении максимальной точности и разрешения. Это обеспечивает быстрый поток образцов от проектирования до выгрузки готового образца. Интегрированное программное обеспечение 
Raith NANOSUITE является интуитивно понятной платформой и предоставляет даже новым пользователям полноценный контроль всего процесса ЭЛЛ.

VOYAGER позволяет осуществлять литографирование как на образцах малых площадей, так и работу на пластинах размером вплоть до 8 дюймов.  

Архитектура VOYAGER была построена в соответствие с важными требованиями пользователей к производительности и на основе обратной связи заказчиков Raith. Благодаря smart-интеграции в окружающую среду, защитный кожух VOYAGER делает возможным работу в широком диапазоне вариации температуры окружающей среды лабораторных помещений и уровня шума. Экспонирование можно проводить с ультра-высоким, суб-10 нм разрешением при работе на пластинах вплоть до 8 дюймов. В добавок к функционалу ЭЛЛ, VOYAGER обладает режим РЭМ-изображения с высоким разрешением и разнообразными функциями метрологии и инспекции результатов.

VOYAGER предоставляет инновации как в архитектуре системы, так и в реализации приложений. Инновационные стратегии экспонирования, такие как режимы сшивки с нулевой ошибкой (traxx и periodixx) или FLEXposure (гибкие режимы направленного сканирования), самая современная электростатическая архитектура электронно-лучевой колонны и низко-шумная электроника дают отличные результаты и расширяют потенциал электронно-лучевой литографии. VOYAGER подготовлен к задачам ЭЛЛ будущего. 

Особенности

  • Скорость и высокая производительность 

    Электронная оптика обеспечивает ток пучка до 40 нА. Большое поле экспонирования, 500 мкм, снижает необходимость в частых перемещениях стола и большом количестве сшивок. Паттерн-генератор 50 МГц построен в соответствии с последними стандартами в области дизайна электроники. Его высокоэффективный поток данных полностью решает проблемы применения в фотонике и оптике, где требуется оперировать большим комплексным массивом данных. VOYAGER способен экспонировать 1 см2 комплексных данных растрового массива в оттенках серого менее чем 1 час!

    • Интуитивно понятная оболочка Windows® 7

    • Автоматическая фокусировка и настройка стигматора

    • Преднастройки в один клик для высокого разрешения или высокой пропускной способности (например, элементы структур большого размера)

    • Комплексная единая оболочка Raith NANOSUITE с GDS II CAD редактором

    • Коррекция эффекта близости

    • До 500 мкм поля экспонирования с динамическими коррекциями в реальном времени

    • Самое современное поколение архитектуры электростатических дефлекторов 

    • Паттерн-генератор 50 МГц

    • Более 1 см2 / ч (при 50% заполнении)

    • Более 50 инженеров поддержки по всему миру 

    • Автоматическое переключение между режимами пропускной способности и высокого разрешения

  • Экономичная стоимость владения 

    • Защитный кожух экономит затраты на микроклимат в лабораторных помещениях в течение всего жизненного цикла прибора

    • Компактность, чтобы сохранить дорогостоящее лабораторное пространство

    • Загрузка образца через стенку (split-room setup) позволяет установку системы вне пространства дорогостоящих чистых комнат

    • Встроенная функция визуализации с высоким разрешением, навигация по образцу 

    • Экономически выгодная замена катода вместо катодного узла (пушки) части колонны 

    • Гибкая схемы обслуживания и поддержки поможет сохранить стоимость владения низкой 

  • Инновационные и уникальные методы экспонирования

    Стандартный режим пошагового и повторяющегося экспонирования подразумевают ошибки сшивки полей и ошибки наложения полей. Этого можно полностью избежать, выбрав уникальные методы Raith непрерывного и бесшовного экспонирования traxx и periodixx, используя разработанную Raith технологию экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при фиксированном луче (FBMS) и экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при модулированном пучке (MBMS). Качество получаемых структур и устройств, особенно в оптических и оптоэлектронных применениях, таких как: решетки большой площади, френелевские линзы, волноводы или фотонные кристаллы, - может быть значительно улучшено.

  • Экспонирование сложных форм и сверхмалых наноструктур может требовать специфических стратегий для оптимальной точности и расположения рисунка. Режимы Raith FLEXposure направленного сканирования помогают оптимизировать и значительно улучшить воспроизводимость запроектированных форм, особенно в отношении к нанометровым величинам производственных допусков.  

  • Основные применения

    - Высокая скорость прямого экспонирования (direct write) 
    - Дифракционные оптические элементы 
    - Оптические структуры для элементов защиты от подделок 
    - Серийное производство полупроводниковых приборов
Скачать брошюру продуктов RAITH в PDF

Характеристики

Лазерный интерферометрический стол и точность сшивки/наложения - Перемещение 6 дюймов (работа на пластинах до 8 дюймов) 
- Точность сшивки полей и наложения полей <25 нм (среднее значение + 3 сигма) 
Стандартное единичное поле экспонирования 500 мкм; 
Динамические коррекции в реальном времени  
Электронно-оптическая колонна - Автоэмиссионный катод Шоттки 
- Электростатическая колонна 
- SE-ET детектор вторичных электронов 
- Детектор обратно-рассеянных электронов ASB (опция) 
- Стабильность позиции пучка <200 нм/8 час 
- Стабильность тока пучка: дрейф <0,5% / 1 час 
Энергия пучка до 50 кэВ
Зондовый ток 50 пА – 40 нА
Режимы и характеристики  - Адаптивные гибкие схемы распознавания маркеров выравнивания 
- Разрешение 18 бит на образце (20 бит опция) 
- Режимы FLEXposure, traxx (опция), periodixx (опция) 
- Коррекция эффекта близости 
- Литография в 3D (опция) 
Минимальный размер получаемой структуры/линии < 10 нм

Минимальный размер периода решетки

< 40 нм 

Генератор развертки

50 МГц

Доп оборудование

  • Интегрируемый модуль наклона и поворота образца 
  • Активная платформа виброподавления, активная система подавления шумов магнитного поля 
  • Automatic Height Sensing 

Программное обеспечение:

Raith Nanosuite. Стандарт GDSII. Единый модуль дизайна CAD-объектов с привязкой к слоям, параметрам экспонирования, контролем позиционирования в системе координат образца, контролем колонны, скриптингом, макросами, автоматизацией, режимами “FLEXposure” и т.д., коррекцией эффекта близости, литографией в 3D.

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Raith VOYAGER

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее