+7 (495) 909-89-53

Установки очистки пластин и фотошаблонов SWC-3000

Настольная установка SWC-3000 произвосдтва NANO-MASTER Inc. (США).

Настольная система для ультразвуковой чистки и сушки масок и пластин. Установка является отдельно стоящей системой и управляется посредством микропроцессора. Загрузка и выгрузка осуществляется вручную.

Цыклы очистки и сушки: 
1-й цикл – нанесение химии (1-й этап)
2-й цикл – ультразвуковая чистка
3-й цикл – нанесение химии (2-й и 3-й этапы)
4-й цикл – ультразвуковая чистка

5-й цикл – сушка с вращением и обдувкой азотом/сушкой инфракрасной лампой.

Очистка фотошаблонов или пластины без повреждений, ультразвуковая очистка и вращающаяся сушка
Подложки: до 12 дюймов - круглые, до 9 дюймов - квадратные подложки
Микропроцессор для управления
ИК лампа для сушки

Опции SWC-3000
фотошаблон или пластина
очистка щеткой
Очистка химикатами (CDU)
ионизатор азота

Скачать брошюру на русском в PDFСкачать брошюру общую в PDF

Характеристики

Модели SWC-3000 SWC-3000C SWC-3000M
Исполнение Настольная модель

Настольная установка с модулем подачи химикатов

Настольная установка для очистки фотошаблонов

Конфигурация

Ультразвуковая очистка, Пористая щека
сушка вращением (dry spin) с азотом N2

Ультразвуковая очистка,
Пористая щетка, 
сушка вращением (dry spin) с азотом N2, 
Распыление химикатов

Ультразвуковая очистка (1 МГц сопла), Пористая щетка,
сушка вращением (dry spin) с азотом N2 
и ИК сушка (лампа)

Габариты Ш х Г х В: 18-3/4” (476 mm), 22-1/2” (572 mm), 16-1/4” (413 mm)
Подключение

Источник питания 220В, 15А 50/60 Гц
Потребление деионизованной воды 1,5 л/мин
Азотная магистраль с давлением 60 psi
Магистраль со сжатым воздухом и давлением 60 psi


Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Установки очистки пластин и фотошаблонов SWC-3000

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее