+7 (495) 909-89-53

Установка плазменной очистки Zepto (low cost system)

Zepto_light_bigzepto_pczepto_pccezepto_ex_pc

Установка плазменной очистки низкого давления модели Zepto производства Diener electronic (Германия).

Применение: очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков

Особенности

  • Камера: цилиндрическая, от 1,7 до 2,6 литра

  • Вакуумный насос

  • Датчик давления Pirani (опция)
  • Ганератор 40 кГц, до 100 Вт или 13,56 МГц, до 50 Вт.

  • Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)

  • Газовые линии - до 2 шт. (игольчатые глапана или MFC)

Скачать брошюру Zepto в PDF

Характеристики

Тип установки плазма низкого давления
Вакуумная камера цилиндрическая, от 1,7 до 2,6 литров: 
Ø 105 mm, глубина 200 мм или 300 мм (кварцевая)
Ø 95 mm, глубина 200 мм или 300 мм
 (боросиликатное стекло)
Материал камеры Боросиликатное стекло или кварцевое стекло
Подвод газа до 2-х газовых линий с игольчатым клапанов или MFC
Генератор плазмы 40 кГц, 100 Вт
13,56 МГц, 50 Вт
Контроль Ручной 
PCCE-Control (Microsoft Windows CE) - PLC
PC-Control (Microsoft Windows XPe) - PC
Производительность вакуумного насоса
сухой насос, 1,3 до 2,5 м3/ час
Подключение 220 В, 50 Гц

Видеопрезентация установки Zepto


Видеопрезентация фирмы Diener



Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Установка плазменной очистки Zepto (low cost system)

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее