+7 (495) 909-89-53

Установка напыления Amod

Amod-telescoping-armAmod-2AMOD-1Amod_chamberangstromamod-3angstromamod-2Amod_ebeamangstromamod-6angstromamod-5angstromamod-4angstromamod-1Amod_loadlock_4Amod_loadlock_1Amod_loadlock_2Amod_loadlock_5angstrom_glove_box_integration_thumbAmod_loadlock_3

Вакуумная установка Amod производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства. 

Системы линейки Åmod – установки сконфигурированы и сконструированы для напыления тонких пленок для удовлетворения самых продвинутых требований заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Флагманская установка линейки моделей компании Angstrom Engineering полностью удовлетворяет требованиям заказчика и может даже быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства Angstrom Engineering объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Особенности

  • Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя
  • Продвинутая система управления на базе ПК.

  • Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).

  • Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).

  • Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

  • Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.

  • 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.

  • 500мм x 500мм x 500мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)

  • Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

  • Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

  • Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция).

  • Контроль вакуума и вакуумная система:

    - Автоматический форвакуумный насос

    - Сухие насосы (опция)

    - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

    - Пневматически воздушный фильтр

  • Управление процессом осаждения:

    - теневая маска и выравнивание подложки

    - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

    - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

    - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

    - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников

    - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

    - Нагрев подложки, охлаждение или доп. смещение на подложку

    - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель- опци)

Скачать брошюру в PDF

Видеопрезентация компании Angstrom Engineering

Видеопрезентация - кассетная станция

Видеопрезентация - улучшение однородности напыления

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Установка напыления Amod

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее