+7 (495) 909-89-53

Рефлектометр RM 1000 QC (Quaity Control) от SENTECH Instruments GmbH

рефлектометр, эллипсометр смотреть фото RM 1000 QC_table footprint

Спектроскопический (спетральный) рефлектометр RM 1000 QC производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света на пластина с топологией.
QC - Quality Control
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п) на пластине с топологией.

- Pattern recognition программное обеспечение (на базе HALCON)
- Картирование по XY в диапазоне 200х200 мм. 
- Измерение на пластинах до 8" (200мм)
- Размер пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
- Мощное ПО для спектроскопических измерений SpectraRay/4
- Опционально SECS/GEM интерфейс
- Камера для автоматического выравнивания столика

Спектральный диапазон:
RM 1000 QC:  400-1000 нм. (VIS) или 400-1650 нм (VIS/NIR) 

В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории на пластинах с топологией.

Особенности

  • Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях.
  • Полуавтоматические измерения толщины пленок на пластинах с топологией с Pattern Recognition программным обеспечением
  • Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 20 до 50000 нм
  • Размер пятна измерения 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
  • Высокая стабильность и точность при измерении. 
  • Измерение на пластинах до 8" (200мм) с картирование до 200х200 мм. Центрирующие пины для плпстин 4", 6", 8"
  • Автоматическая турель объективов (на 2 позиции)
  • Автоматическое выравнивание пластины с высокой точностью (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).
  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс и легкость работы.
  • Высокая скорость измерений
  • Программное обеспечение spectraRay/4 для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений Брошюра RM 1000 QC в PDF

Характеристики

Модель RM 1000 QC
Измеряемые величины Толщина пленки, индекс преломления, абсорбция и др.
Принцып действия Интерферренция белого света при нормальном угле падения
Спектральный диапазон                 400 - 1000 нм. (опционально: 400-1650 нм) 
Время измерения около 300 мс.
Диапазон измеряемых толщин 20 - 50 000 нм. (в зависимости от пленки)
Диамерт светового пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт)
опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
Точность измерения тощины 1 нм (изм. 400 нм SiO2/Si)
Воспроизводимость (1σ) 0,3 нм.  (изм. 400 нм SiO2/Si)
Источник света Стаблизированная галогеновая-вольфрамовая лампа
Программное обеспечение SpectraRay/4

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Рефлектометр RM 1000 QC (Quaity Control) от SENTECH Instruments GmbH

Также Вас может заинтересовать
Спектроскопические эллипсометры SENTECH Instruments GmbH

Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR-IR (190-25000 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей. 

Спектроскопические (спетральные) эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. В зависимости от модели, работающие в диапазоне от DUV-VIS-NIR-IR (190-25000 нм). Приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик однослойных и многослойных пленок и пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения и др.) на различных типах поверхностей. 

Лазерные эллипсометры SENTECH Instruments GmbH

Лазерные эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) - приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей на одной длине волны - 632,8 нм с точностью менее ангстрема.

Лазерные эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) - приборы с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработаны для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей на одной длине волны - 632,8 нм с точностью менее ангстрема.

Лазерные эллипсометры EMPro от Ellitop Scientific (Китай)

EMPro - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны - 632,8 нм
Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.

EMPro - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны - 632,8 нм
Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.

Уже установлено в России и СНГ: 5 шт